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中微公司發(fā)布用于深紫外LED量產(chǎn)的MOCVD設(shè)備Prismo HiT3™
2020年08月20日 13:54:16
來源：中微 點(diǎn)擊量：18485
中國，上海2020年7月30日——中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012）宣布推出Prismo HiT3TM MOCVD設(shè)備，主要用于深紫外LED量產(chǎn)。
【化工儀器網(wǎng) 新品推薦】中國，上海2020年7月30日 -- 中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”，上交所股票代碼：688012)宣布推出Prismo HiT3™MOCVD設(shè)備，主要用于深紫外LED量產(chǎn)。
中微Prismo系列MOCVD設(shè)備目前已進(jìn)入的藍(lán)綠光LED制造商行列，此次推出的Prismo HiT3™是中微Prismo系列MOCVD設(shè)備的新品。該設(shè)備是適用于高質(zhì)量氮化鋁和高鋁組分材料生長的關(guān)鍵設(shè)備，反應(yīng)腔高溫度可達(dá)1400度，具有優(yōu)異的工藝重復(fù)性、均勻性和低缺陷率。該設(shè)備同時(shí)也為高產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，單爐可生長18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長4英寸晶片。
中微公司Prismo HiT3™MOCVD設(shè)備早期的客戶包括國內(nèi)的深紫外LED制造商馬鞍山杰生半導(dǎo)體有限公司，該公司的深紫外LED在家用、醫(yī)療和科研設(shè)備等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
深紫外光幾十年前就被應(yīng)用于工業(yè)和民用消毒殺菌領(lǐng)域。它通過破壞細(xì)菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來發(fā)揮作用。深紫外LED被用于不同波長的殺菌燈中，且與傳統(tǒng)的汞燈相比對(duì)環(huán)境無污染。類似SARS、MERS和新冠病毒的出現(xiàn)使得深紫外LED產(chǎn)品的需求激增，深紫外LED產(chǎn)品可以消滅這些新生微生物。波長260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領(lǐng)域先進(jìn)的技術(shù)解決方案(例如杰生半導(dǎo)體的深紫外LED產(chǎn)品)。
中微公司設(shè)計(jì)的Prismo HiT3™MOCVD設(shè)備具有新穎的腔體設(shè)計(jì)，能在高溫環(huán)境下生長高質(zhì)量氮化鋁工藝，并具有業(yè)內(nèi)的深紫外LED高產(chǎn)出率；同時(shí)具備較長的平均免開腔維護(hù)間隔時(shí)間，進(jìn)一步延長正常運(yùn)行時(shí)間并提高產(chǎn)能。真空自動(dòng)化傳輸系統(tǒng)可以抑制顆粒物的產(chǎn)生，并減少缺陷。自動(dòng)化升降機(jī)構(gòu)可方便維護(hù)操作并有效節(jié)省維護(hù)時(shí)間。
“我們現(xiàn)在已經(jīng)看到了深紫外LED帶來的切實(shí)好處，它已成為消滅有害病原體的重要工具。”杰生半導(dǎo)體有限公司董事長康健說道，“隨著深紫外LED技術(shù)的持續(xù)發(fā)展，我們?yōu)槟軌蛟诠埠图彝ハ井a(chǎn)品領(lǐng)域處于前列而感到自豪。中微公司設(shè)計(jì)的Prismo HiT3™MOCVD設(shè)備可以滿足深紫外LED大批量、低生產(chǎn)成本的制造需求。中微公司憑借其先進(jìn)的工藝專長和高性能的MOCVD設(shè)備解決方案，是值得信賴的合作伙伴。”
“中微自主研發(fā)的Prismo HiT3™ MOCVD設(shè)備延續(xù)了我們現(xiàn)有Prismo平臺(tái)已驗(yàn)證的主要?jiǎng)?chuàng)新功能，并提升了可在高溫工藝環(huán)境下生長氮化鋁基材料的性能，使之拓展到深紫外LED的應(yīng)用。”中微公司執(zhí)行副總裁兼首席運(yùn)營官杜志游博士說道，“杰生半導(dǎo)體始終致力于持續(xù)發(fā)展LED技術(shù)并創(chuàng)造有益于人類健康的產(chǎn)品，我們很高興杰生成為我們的早期用戶，同時(shí)也很榮幸我們的設(shè)備解決方案能夠助力客戶研發(fā)下一代深紫外LED產(chǎn)品，并在技術(shù)研發(fā)和成本控制上幫助客戶達(dá)成目標(biāo)。”
Prismo HiT3™是中微公司的注冊(cè)商標(biāo)。
關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司
中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012)致力于為集成電路和LED芯片制造商提供先進(jìn)的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微公司開發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工微米級(jí)和納米級(jí)的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于一線客戶從65納米到5納米工藝的眾多刻蝕應(yīng)用，中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，目前已在氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場(chǎng)占據(jù)一定地位。
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