KLA薄膜電阻測量技術(shù)電阻率測試儀包括接觸（4PP）和非接觸（EC）方法。

Filmetrics的R50系列方塊電阻測量儀器可測量沉積在各種基材上的導(dǎo)電片和薄膜，跨越10個(gè)數(shù)量級范圍電阻率，包括：

半導(dǎo)體晶圓基板

玻璃基板

塑料（柔性）基材

PCB圖案特征

太陽能電池

平板顯示層和圖案化特征

金屬箔

二、電阻率測試儀主要功能

l 技術(shù)規(guī)格

測量范圍：5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq;

測量精度： +/- 1%；

重復(fù)度： 小于 0.2%；

樣品圖中無*的測量點(diǎn)位，自定義測量Recipe，可線性、矩形、

極坐標(biāo)以及自定義等。

三、應(yīng)用

支持廣泛的測量，包括但不限于以下各項(xiàng)：

金屬膜厚度、基板厚度、方塊電阻、電阻率、電導(dǎo)率、摻雜濃度等。