富士工業(yè)超聲波濃度計 

　　超聲波液體濃度計單成分用

　　半導體制造用

　　FUD-1Model-13

　　測量原理

　　超聲波在液體中非常易于傳播。

　　超聲波在溶液中傳播的速度受溶液的濃度和溫度影響。

　　「濃度變化」→「密度變化」→「音速變化」

　　本產(chǎn)品利用超聲波的特性，高精度的測量溶液的濃度。

　　測量「溶液的溫度」+「超聲波的速度」→通過CPU演算處理→濃度顯示

　　可根據(jù)檢量線的交換測量各種半導體藥液的濃度。

　　發(fā)信器小型、輕量，可直接在線裝置。

　　免保養(yǎng)設(shè)計。

　　接液部分全部采用（PFA)材料。

　　小型輸出設(shè)計，對藥液沒有影響。

　　單成分濃度計的特點

　　實時濃度測量可能，濃度管理系統(tǒng)構(gòu)筑也簡單

　　模擬DC4～20mA及數(shù)字RS232C標準裝備

　　標準配備測量錯誤輸出和警報輸出

　　標準裝備自己診斷功能·錯誤信息表示

　　小型·輕量小區(qū)型發(fā)信器在線直接設(shè)置可能

　　采用PFA的接液構(gòu)件、小輸出設(shè)計對藥液沒有影響

　　優(yōu)點

　　高精度連續(xù)計測可能

　　無需定期調(diào)整、校對，無需維護

　　設(shè)置時的各種調(diào)整等不需要也容易設(shè)置

　　由于實時輸出的工程的反饋也容易

　　用途

　　在CMP工序中的CMP襯墊或氧化劑濃度管理等

　　稀釋工程的各種藥液濃度管理等（H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HCl等）

　　在清洗過程中的清洗液濃度管理等（HF?NH4OH?KOH?IPA等）

　　蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等（HF?H2SO4等）

富士工業(yè)超聲波濃度計