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北斗星儀器半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測(cè)儀

2025-03-28

產(chǎn)      地:
北京
所在地區(qū):
陜西西安市
有效期還剩 363舉報(bào)該信息

pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測(cè)儀是一款專門用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的實(shí)用型產(chǎn)品,具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測(cè)等特點(diǎn),可檢測(cè)硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣、氨氣等上百種氣體,適用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。電化學(xué)探頭直接采樣,配有方便背包、打印功能,對(duì)現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)、或?qū)嶒?yàn)室檢測(cè)尤其方便適用。

便攜式氣體分析儀應(yīng)用:

環(huán)境檢測(cè)

污染源檢測(cè)

工業(yè)工藝現(xiàn)場(chǎng)分析

科學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室分析

軍事毒氣安全

勞動(dòng)安全,施工安全

化學(xué)泄露、事故分析


pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測(cè)儀技術(shù)指標(biāo):

BD4主機(jī)測(cè)試ADC分辨率: 0.025%FS

電化學(xué)探頭準(zhǔn)確度: ±1-2%讀數(shù)(一般)

長(zhǎng)期穩(wěn)定性: +/-10% /年 (一般)

分析器響應(yīng)時(shí)間:< 10ms

探頭響應(yīng)時(shí)間:<1min

儀器使用環(huán)境: 溫度:-10℃~60℃; 濕度:10%~90%R(無(wú)結(jié)露)

儀器保存環(huán)境: 溫度: 0℃~50℃; 濕度:10%~80%R(無(wú)結(jié)露)

電化學(xué)探頭直接采樣: 溫度: 0-40℃; 壓力:<1.1 kgf/cm2

供電: 6V充電蓄電池

連續(xù)使用時(shí)間: >24Hr/每次充電; 電池置放時(shí)間1周。


便攜式有毒氣體快速檢測(cè)儀測(cè)試參數(shù)及技術(shù)指標(biāo):

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)

說(shuō)明

PH3-4PH:0.05-20ppm

SiH4-4SL:0.05-50ppm

AsH3-3E1:0.015-1ppm

Chlorides: 0.7-30ppm

Fluorides: 0.25-10ppm

H2:0-4%VOl

EC

EC

EC

EC

EC

EC

擴(kuò)散式采樣; 半導(dǎo)體車間全毒氣報(bào)警, 有一定的區(qū)辯能力.

Chlorides對(duì)HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有響應(yīng);

Fluorides對(duì)HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有響應(yīng); Gas200通過(guò)標(biāo)定系統(tǒng)甚至可能對(duì)H2B6.GeH4,H2Se進(jìn)行定性定量探測(cè).



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