Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計
2025-02-15
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Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計
液體混合注入，汽化能力20g/min（TEOS）
HORIBA 是高性能汽化系統(tǒng)的供應(yīng)商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個半導(dǎo)體制程，可以安全有效地將液相化學(xué)品以氣相形態(tài)輸送至使用點。無論液態(tài)化學(xué)品是需要在真空下還是大氣壓下汽化，HORIBA 的汽化技術(shù)都能提供符合要求的汽化系統(tǒng)。包括：汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。
暢銷型號：VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.
MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實現(xiàn)穩(wěn)定汽化，實現(xiàn)流量計的流量測量功能。適用于包含 “High-k”工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。
Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計可通過使用氣液混合物汽化方法快速汽化各種液體源。該方法可實現(xiàn)高沸點液體的穩(wěn)定汽化。
· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點液體
· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃
· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃
· 汽化效率高于傳統(tǒng)汽化方法
· 產(chǎn)生更大流量
· 汽化溫度降低
測量技術(shù) 注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。
1. 載氣和液體在控制閥中混合。
2. 液體在蒸發(fā)區(qū)瞬間汽化。
3. 氣體被釋放，防止凝結(jié)成液態(tài)。
技術(shù)參數(shù)
型號 | MV-2000 |
液體名稱 | 除腐蝕不銹鋼的液體外(如. HCl, HF) |
汽化能力（參考） | 20g/min (TEOS) 2g/min (H2O) |
耐溫 | 混合閥部分 : Max140℃ 汽化部分:Max200℃ |
泄露率 | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He) |
接液材質(zhì) | SUS316L , PFA |
溫度探頭 | K型熱電偶 |
耐壓 | 1MPa (G) |
標(biāo)準(zhǔn)接口 | 液體入口: 1/8 VCR公頭； 載氣入口：1/4 VCR母頭； 氣體出口: 1/2 VCR公頭 |
環(huán)境溫度 | 15 - 50 ?C |
可選項 | 氣體閥(內(nèi)漏率: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) ) |
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