測(cè)量元素范圍

CI(17)/AI(13)-U(92)

涂鍍層分析范圍

Li(3)-U(92)

RoHS

可選配

算法

自主研發(fā)的EFP算法

軟件操作

人性化封閉軟件，自動(dòng)判斷故障提示校正及操作步驟，避免誤操作

X射線裝置

微聚焦射線管

準(zhǔn)直孔

Ф0.1mm/Ф0.2mm/0.5mm/5mm(選配四準(zhǔn))

信號(hào)及接收

Pro-SD處理器+PC/DPP+FAST SDD(選配)

濾光片

選配集成嵌入式多濾光片切換裝置

微光聚焦技術(shù)

最近測(cè)距光斑擴(kuò)散度 10%

測(cè)量距離

具有距離補(bǔ)償功能，可改變測(cè)量距離測(cè)量凹凸異形樣品，變焦距離可達(dá)0-30mm

樣品觀測(cè)

1/2.7”彩色CCD，變焦功能

對(duì)焦方式

高敏感鏡頭，手動(dòng)對(duì)焦

放大倍數(shù)

光學(xué)38-46X，數(shù)字放大40-200倍

儀器尺寸

550mm*360mm*410mm

樣品艙尺寸

長(zhǎng)400mmx寬320mmx高150mm

樣品臺(tái)移動(dòng)

選配高精密XY手動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)

可移動(dòng)范圍

50mm*50mm