Horiba 微小液體質(zhì)量流量器LV-F60MO流量計(jì)
2025-02-27
 |
Horiba 微小液體質(zhì)量流量器LV-F60MO流量計(jì)
量程100g/min,精度1%
暢銷型號(hào)：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A。
概要
Horiba微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F、液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F，屬于在線流量計(jì)，用于測(cè)量管路流量。
Horiba 微小液體質(zhì)量流量器LV-F60MO流量計(jì)用于控制液體流量，LF-F液體質(zhì)量流量控制器、LV-F液體質(zhì)量流量計(jì)采用波爾貼原理冷卻液體，而非常見的熱交換方法。該技術(shù)消除了低沸點(diǎn)液體沸騰的風(fēng)險(xiǎn)，實(shí)現(xiàn)更低沸點(diǎn)液體的安全控制。
特征
通過采用數(shù)字回路，實(shí)現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
可以進(jìn)行微升以上的微小流量控制。
可以對(duì)低沸點(diǎn)液體、高粘度液體進(jìn)行精密的流體控制。
超潔凈EP級(jí)
選型要求：按以下規(guī)格確認(rèn)型號(hào)，并請(qǐng)?zhí)峁﹨?shù)：介質(zhì)名稱、量程、接口尺寸。
技術(shù)參數(shù)
名稱 | 液體質(zhì)量流量控制器 | ||||
型號(hào) | LV-F20PO/LV-F20MO | LV-F30PO /LV-F30MO | LV-F40PO /LV-F40MO | LV-F50PO /LV-F50MO | LV-F60PO /LV-F60MO |
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16”，1/8”卡套； 1/8”VCR | 1/8”卡套，1/8”VCR | 1/4”卡套，1/4”VCR | ||
檢測(cè)控制范圍 | 5?100% F.S. | ||||
對(duì)象液體種類*1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度*2 | max值. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復(fù)性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | |||
使用環(huán)境溫度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ max值±1% | ||||
工作差壓值*5 | 0.05?0.3MPa | ||||
耐壓 | 1MPa | ||||
壓力損失 | ー | ||||
流量設(shè)定信號(hào) | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
流量輸出信號(hào) | 模擬：0?5 VDC(min負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏率 | PO類型：1×10-8Pa•m3/s (He) , MO類型：5×10-12Pa•m3/s (He). | ||||
接液部材質(zhì) | PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO類型：SUS316L，Ni | ||||
名稱 | 液體質(zhì)量流量計(jì)（不帶控制） | ||||
型號(hào) | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測(cè)控制范圍 | 5?100% F.S. | ||||
對(duì)象液體種類*1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度*2 | max值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復(fù)性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | |||
使用環(huán)境溫度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ max值±1% | ||||
工作差壓值值 | max值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50?300kPa (with piezo控制閥) | ||||
耐壓 | 1MPa (視為流量計(jì)) | ||||
壓力損失 | max值. 500Pa | ||||
流量設(shè)定信號(hào) | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
流量輸出信號(hào) | 模擬：0?5 VDC(min負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
驅(qū)動(dòng)電源 | +15 V ±5%, 200 mA； -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏規(guī)格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材質(zhì) | SUS316L, Ni | ||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16”，1/8”卡套； 1/8”VCR | 1/8”卡套； 1/8”VCR | 1/4”卡套， 1/4”VCR | ||
*1：LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正(請(qǐng)預(yù)先確定所使用 的液體。)
?不能檢測(cè)含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí)，請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在所測(cè)液體中含有粒子等時(shí)，請(qǐng)?jiān)谌肟诙税惭b0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以用于粘度值 max 0.1Pa•s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296為準(zhǔn)。
*4： 進(jìn)行測(cè)量/控制時(shí)，如果液體溫度低于環(huán)境溫度，請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果液體溫度高于高于環(huán)境溫度，請(qǐng)把溫差控制在3℃以內(nèi)。
冷卻測(cè)量方法
Horiba微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F、液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F的流量傳感器由與毛細(xì)管接觸的電子冷卻元件（珀?duì)柼┮约皫讉€(gè)溫度檢測(cè)元件組成。當(dāng)液體流動(dòng)時(shí)，傳感器檢測(cè)對(duì)應(yīng)流量的溫升（ΔT），并以流量顯示。與熱交換不同，這種冷卻方法能夠測(cè)量低沸點(diǎn)液體的流量。此外，該方法還能防止由于二次排放（汽化）的影響而產(chǎn)生的干擾問題，使精確的流量測(cè)量成為可能。
測(cè)量原理
Horiba微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F、液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F采用相同的測(cè)量原理。液體質(zhì)量流量器LV-F60MO還配備一個(gè)壓電閥和一個(gè)內(nèi)部比較控制回路。對(duì)流量設(shè)定信號(hào)和流量輸出信號(hào)進(jìn)行比較，并自動(dòng)控制閥門孔徑，使兩個(gè)信號(hào)匹配以控制液體。由于采用了反饋控制系統(tǒng)，不會(huì)因外部因素而導(dǎo)致流量變化，因此確保了穩(wěn)定和精確的控制。
采購(gòu)中心