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三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡

2025-03-10

產(chǎn)      地:
日本
所在地區(qū):
江蘇蘇州市
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三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡,可利用白光干涉原理實現(xiàn)非接觸式高精度細微表面性狀測量

三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡,可利用白光干涉原理實現(xiàn)非接觸式高精度細微表面性狀測量


● 不依賴于光學倍率的高度測量精度
即使是低倍率鏡頭,也可使用Z向高分辨力進行測量
● 高縱橫比測量
不依賴于光學系統(tǒng)的NA進行檢測,支持高縱橫比形狀測量
● 抗干擾震動的高穩(wěn)定性
● 小型輕便


三豐WLI-Unit白光干涉光學單元顯微鏡,可利用白光干涉原理實現(xiàn)非接觸式高精度細微表面性狀測量

產(chǎn)品陣容
型號           Z向移動范圍    Z向分辨力
WLI-Unit-003   8000μm        -
WLI-Unit-005   8000μm        4nm
WLI-Unit-010   8000μm        4nm



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