| 特性
ULVAC機(jī)工的GCD系列直聯(lián)型油旋片式真空泵，具有耐腐蝕性，可用于對有毒氣體和腐蝕性氣體的排氣，適用于化學(xué)，半導(dǎo)體和生化行業(yè)。共有三種機(jī)型，排氣范圍在50L/min.至200L/min.之間。
使用指導(dǎo)
1.GCD系列真空泵請使用合成泵油（SOM）。
2.對任何有毒或腐蝕性氣體排氣前請咨詢當(dāng)?shù)劁N售商。
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
應(yīng)用
1.半導(dǎo)體業(yè)界
2.化學(xué)業(yè)界
3.化學(xué)處理后干燥
4.生化業(yè)界
5.防污染耐酸性處理 | 型 號 | 實(shí)際排氣速度（L/min.） | 極限壓力 （Pa） | 吸氣管徑 （mm） | 重量 （kg） | 外形尺寸 W×L×H（mm） | 電機(jī) | | 功率（W） | 可選電壓（V） | | ※ GCD-051X | 50/60 （50/60Hz） | 6.7×10-2（氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉） 6.7（氣鎮(zhèn)閥打開） | KF-25 | 14.1 | 165.5×423×222.7 | 200 | 單相 100.115.200.220.230 | | GCD-136X | 135/162 （50/60Hz） | 6.7×10-2（氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉） 6.7（氣鎮(zhèn)閥打開） | KF-25 | 25.4 | 170×493×241.1 | 400 | ※ 單相100-120.200-240 三相200-240.380-460 | | GCD-201X | 200/240 （50/60Hz） | 6.7×10-2（氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉） 6.7（氣鎮(zhèn)閥打開） | KF-25 | 26.6 | 170×509.5×241.1 | 750 | ※ 單相100-120.200-240 三相200-240.380-460 | |
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