CYG500系列微型、薄型動(dòng)態(tài)壓力傳感器

一、CYG502型超微型壓力傳感器(絕壓)

標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實(shí)驗(yàn)中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計(jì)的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸*小的壓力傳感器。

CYG502的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度。離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計(jì)、從而實(shí)現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的特點(diǎn)，為超微型傳感器的實(shí)現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。

使用了硅–硅鍵合技術(shù)，改善了熱匹配效果，減少了應(yīng)力帶來(lái)的零位不穩(wěn)定性。

目前已面市品種有絕壓型測(cè)量模式產(chǎn)品，表壓型正在研制中。

CYG502A絕壓型超微型壓力傳感器為探針形，標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф2.15mm，傳感器的可選量程為50、100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa絕壓。

CYG502A絕壓傳感器用敏感元件正面承壓。因此，它僅適用于介質(zhì)為無(wú)腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有著相當(dāng)寬的工作溫區(qū)，可達(dá)-55℃～+120℃，也有著非常優(yōu)良的高頻動(dòng)態(tài)特性，其較低量程的敏感元件的固有頻率＞200KHz，上升時(shí)間為亞微秒。

性能指標(biāo)參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv   典型值80mv   *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流    1mA 、1.2mA（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補(bǔ)償溫度范圍     -10℃～+80℃

過(guò)載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

外形尺寸圖       直徑：2.15mm，長(zhǎng)度：18mm、11mm、7mm可選

CYG502系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出微型電纜（Φ1.8mm五芯屏蔽電纜）長(zhǎng)度為1m，在1m的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時(shí)廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費(fèi)服務(wù)）

CYG502系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1502傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

二、CYG503型、504型微型壓力傳感器（絕壓、表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑3mm的微型壓力傳感器CYG503是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究試驗(yàn)中，要求安裝尺寸小，不擾動(dòng)流場(chǎng)，動(dòng)態(tài)響應(yīng)優(yōu)良動(dòng)態(tài)壓力分布測(cè)量而設(shè)計(jì)的。應(yīng)用于如發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣道壓力畸變、喘振等的空氣動(dòng)力學(xué)性能測(cè)定。

CYG503的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕形成的硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)使其具有很高的壓力靈敏度和小至1.5mm以下的徑向尺度。*的微型化的壓力敏感芯片采用無(wú)應(yīng)力封裝技術(shù)，密封封裝在特制的微型安裝基座和不銹鋼毛細(xì)管中。絕壓型傳感器參考?jí)毫η皇切酒趁婷芊獾恼婵涨?，表壓型傳感器的參考?jí)毫η皇峭ㄟ^(guò)一根更細(xì)的不銹鋼毛細(xì)管從背面引出與大氣溝通。也為了方便用戶為取得穩(wěn)定的壓力參考而用細(xì)尼龍管將它引至氣壓穩(wěn)定處。

CYG503A絕壓型微型壓力傳感器為探針形，標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф3.5mm(*小外徑可定制Ф3mm)，長(zhǎng)度為18mm，特制的短柱形CYG503AS將長(zhǎng)度縮短為12mm。絕壓型壓力傳感器的可選量程為50、100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa絕壓。

CYG503G表壓型微型壓力傳感器為探針形、標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф3.5mm，長(zhǎng)度為18mm，背壓引出毛細(xì)管長(zhǎng)為12mm。表壓型壓力傳感器的可選量程為25、50、100、150、200、400、600、1000、1600、2500 KPa表壓力。

CYG503的設(shè)計(jì)制作已獲得國(guó)家發(fā)明*、*號(hào)為：200410103083.3。

CYG504微型螺栓安裝型壓力傳感器是為方便一些用戶使用要求的CYG503的衍生品種，絕壓、表壓均可。它的外形尺寸見(jiàn)附圖。

CYG504G微型微壓壓力傳感器為探針形，標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф4mm，長(zhǎng)度為18mm，特制的短柱形CYG504GS將長(zhǎng)度縮短為12mm。表壓傳感器可選量程為10、20、40 KPa相對(duì)壓力。

CYG504A微型真空度壓力傳感器為探針形，標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф4mm，長(zhǎng)度為18mm，特制的短柱形CYG504AS將長(zhǎng)度縮短為12mm。真空度壓力傳感器可選量程為10、20、40 KPa絕壓。

CYG503、504型傳感器由于用敏感元件正面承壓，因此，它僅適用于介質(zhì)為無(wú)腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。但它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常好的動(dòng)態(tài)頻響。可使用的動(dòng)態(tài)頻響低至零頻、高至數(shù)十千赫茲。表面增加涂復(fù)保護(hù)可改善介質(zhì)適用能力，但以犧牲頻響特性為代價(jià)。

性能指標(biāo)參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv   典型值80mv   *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1.5mA（表壓型）1mA（絕壓型）（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補(bǔ)償溫度范圍     -10℃～+80℃

過(guò)載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG503系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出微型電纜長(zhǎng)度為1m，在1m的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時(shí)廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費(fèi)服務(wù)）

CYG503系列產(chǎn)品為方便不具有或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1503傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

三、CYG505型、506型微型壓力傳感器（絕壓、表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑Φ5mm的微型表壓力傳感器CYG505及其衍生的螺紋安裝型品種CYG506是專為水流動(dòng)力學(xué)研究。縮模實(shí)驗(yàn)要求的外形尺寸小，對(duì)流場(chǎng)擾動(dòng)小，量程低、靈敏度高，動(dòng)態(tài)頻響好而專門設(shè)計(jì)的微型低量程脈動(dòng)壓力傳感器。

CYG505的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造、三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移。用CAD輔助的有限元分析基礎(chǔ)上的力學(xué)構(gòu)件設(shè)計(jì)、版圖布局設(shè)計(jì)、加上精密的各向異性腐蝕，解決了低量程下線性度和輸出靈敏度的矛盾。小至2mm徑向尺度的微型芯片，具有低達(dá)20KPa的量程和優(yōu)良的線性度，滿足了水工縮模測(cè)量的精度與靈敏度要求。

CYG505采用了敏感元件背面承壓的工作模式，因此它可以用于導(dǎo)電性的水及其它液體介質(zhì)。有特殊腐蝕性或溶滲性的介質(zhì)訂貨時(shí)請(qǐng)與廠家協(xié)商。

為了防止使用安裝處偶然浸水造成表壓傳感器的失效，CYG505在尾端出線處采用了PVC導(dǎo)管作為通氣及防水保護(hù)，微型電纜從PVC管中孔內(nèi)引出。由于工藝難度，PVC管的*長(zhǎng)度限制為7m。

CYG505為表壓模式，標(biāo)準(zhǔn)壓力量程為15、25、40、60、100、160、250、400、600、1000KPa。為方便水工用戶，也可以按mH₂O為單位訂貨量程為2、3、5、10、20、50、100。

CYG505A絕壓模式，標(biāo)準(zhǔn)壓力量程為50、100、150、300、400、800、1200、2400KPa

CYG505的設(shè)計(jì)及制作已獲得國(guó)家發(fā)明*，并獲得2007年度中國(guó)*國(guó)家發(fā)明獎(jiǎng)，為：ZL200310106329.8。

CYG505傳感器的低量程產(chǎn)品的固有頻率達(dá)60KHz~138KHz，為激波管試驗(yàn)驗(yàn)證。它具有0～20KHz的使用帶寬，上升時(shí)間小于1us，滿足水工測(cè)量的動(dòng)態(tài)要求。

CYG506微型螺栓安裝型壓力傳感器是為了方便一些用戶使用要求的CYG505的衍生品種，它的外形尺寸見(jiàn)附圖。

性能指標(biāo)參數(shù)

滿量程輸出       *小值20mv  典型值60mv   *值100mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1.5mA（恒流源）

工作溫度范圍     -20℃～+80℃（可應(yīng)要求擴(kuò)寬）

補(bǔ)償溫度范圍     0℃～+50℃（可應(yīng)要求擴(kuò)寬）

過(guò)載能力         額定量程的200%(表壓型*至1.2MPa)

加速度靈敏度     ＜0.002%FS/g

CYG505系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出微型電纜長(zhǎng)度為5m，在5m的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時(shí)廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費(fèi)服務(wù)）超過(guò)5m也可以（按長(zhǎng)度收費(fèi)），但防水保護(hù)的PVC管*長(zhǎng)只能套7m。

CYG505系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1505傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

四、CYG507型微型微壓傳感器（表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑8mm的微型微壓傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究流場(chǎng)分布設(shè)計(jì)的，它特別適用于模型尺寸較厚或模型中空的實(shí)驗(yàn)工況。傳統(tǒng)的用毛細(xì)管引出壓力用掃描閥巡測(cè)的方式，因毛細(xì)管頻響的損失而測(cè)得的為穩(wěn)態(tài)流場(chǎng)分布。現(xiàn)場(chǎng)直接布置微型傳感器的方法可獲得準(zhǔn)確的動(dòng)態(tài)流場(chǎng)分布。

CYG507的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。采用CAD技術(shù)的力敏結(jié)構(gòu)與版圖設(shè)計(jì)優(yōu)化了力學(xué)模型、雙島膜結(jié)構(gòu)（低微壓）和梁膜島復(fù)合結(jié)構(gòu)（超微壓）使得壓力敏感元件實(shí)現(xiàn)了低量程、高靈敏度和優(yōu)良線性度的統(tǒng)一兼得，應(yīng)力互補(bǔ)設(shè)計(jì)和無(wú)應(yīng)力微封裝技術(shù)實(shí)現(xiàn)了量程下的良好穩(wěn)定性。

CYG507為表差壓型，有探針型和螺紋安裝式兩種外形。探針型產(chǎn)品量程2.5KPa以上的外徑為Φ6mm，2.5KPa以下的量程的外徑為Φ8mm，長(zhǎng)度均為18mm，螺紋型的螺紋為M10×1。外形見(jiàn)附圖。

CYG507采用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性。CYG507采用準(zhǔn)齊平無(wú)管腔的封裝設(shè)計(jì)，因此有優(yōu)良的動(dòng)態(tài)特性，可用頻率即使是較低量程500Pa的品種可達(dá)數(shù)千赫茲以上。

CYG507的可選量程為1、1.6、2.5、5、10KPa。

性能指標(biāo)參數(shù)

滿量程輸出       *小值20mv   典型值60mv   *值100mv

輸入輸出阻抗     *小值2 KΩ  典型值5 KΩ  *值8KΩ

輸入工作電流     2mA或1.5mA

工作溫度范圍     -40℃～+105℃

補(bǔ)償溫度范圍     -10℃～+60℃

過(guò)載能力         額定量程的300%

CYG507系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出微型電纜長(zhǎng)度為1m，在1m的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時(shí)廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費(fèi)服務(wù)）

CYG507系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1507傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

五、CYG508型微型高壓傳感器（表壓）

標(biāo)稱尺寸外徑Φ8mm的園柱形微型高壓傳感器CYG508原是為創(chuàng)傷醫(yī)學(xué)，埋植測(cè)量高頻動(dòng)態(tài)高壓設(shè)計(jì)的，是高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器CYG401的微型化封裝產(chǎn)品。也可用于小容積體內(nèi)爆燃高壓、石油勘采壓裂測(cè)井等要求小尺寸安裝的動(dòng)態(tài)高壓測(cè)試用途。

CYG508的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造，采用了背面齊平承壓、無(wú)管腔封裝等一系列已獲得*的技術(shù)。因而具有高達(dá)數(shù)百千赫茲的固有頻率，快至亞微妙的上升時(shí)間，確保了高頻動(dòng)態(tài)壓力測(cè)試的要求。小的封裝外形尺寸滿足了特殊環(huán)境條件的要求。

CYG508微型高壓傳感器為表壓（2MPa以下時(shí)）或密封表壓（2MPa以上時(shí)）模式，其外形有標(biāo)準(zhǔn)的小園柱形及衍生的螺紋安裝型（標(biāo)準(zhǔn)螺紋為M10*1與M12*1），詳見(jiàn)外形圖。（2.5MPa以下量程外徑Φ10mm）

CYG508的標(biāo)準(zhǔn)量程為1、1.6、2.5、4、6、10、16、25、40、60MPa，其余量程需協(xié)商特訂。

CYG508適用于對(duì)硅、玻璃、不銹鋼，環(huán)氧樹(shù)脂膠相兼容的任何氣、液體介質(zhì)。

固有頻率及上升時(shí)間：                               可用帶寬：0～1/3固有頻率

性能指標(biāo)參數(shù)

注：*為部分40MPa以上量程參數(shù)

非線性           ±0.2％～±1％

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1.5mA（恒流源）

工作溫度范圍     -40℃～+125℃（特殊措施下可耐2000℃/20ms瞬態(tài)高溫）

補(bǔ)償溫度范圍     -10℃～+60℃(其它溫度段可選)

過(guò)載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.0005%FS/g

CYG508系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出微型電纜長(zhǎng)度為1m，在1m的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時(shí)廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費(fèi)服務(wù)）

CYG508系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1508傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz、響應(yīng)頻帶0～100KHz或響應(yīng)頻帶0～200KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

六、CYG511型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG511型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無(wú)法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG511傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG511的極薄的用于柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。

CYG511的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄*終尺寸的薄形傳感器。

CYG511為絕壓測(cè)量模式，它的標(biāo)準(zhǔn)量程在100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa可選訂。

CYG511外形為薄園扣式。標(biāo)稱直徑為ф8 mm，厚度為2.2 mm，引出線為5線柔性電線，長(zhǎng)度為1m，在1m終點(diǎn)處接有用PCB板制成的電橋補(bǔ)償平衡器，柔性電線的厚度為0.15 mm，寬度為4 mm。

CYG511由于用敏感元件正面承壓，因此它適用于*無(wú)腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜，含水量高，可使用復(fù)蓋有有機(jī)硅凝膠保護(hù)表面及電極的CYG511S，有機(jī)硅凝膠會(huì)有些降低其動(dòng)態(tài)頻響性能。

采用薄膜有機(jī)材料覆蓋保護(hù)的產(chǎn)品CYG511P，由于保護(hù)膜厚度為um量級(jí)，因此對(duì)動(dòng)態(tài)頻響損失較少，但特制周期較長(zhǎng)及有較多的成本增加。

性能指標(biāo)參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1mA（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補(bǔ)償溫度范圍     -10℃～+80℃

過(guò)載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG511系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出柔性導(dǎo)線長(zhǎng)度為1m，在1m的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時(shí)廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費(fèi)服務(wù)）

CYG511系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1511傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

七、CYG512型超薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG512型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中超薄形模型上下表面壓力場(chǎng)分布設(shè)計(jì)的，是CYG511的改進(jìn)型。尤其適用于縮模徑向尺寸較大，厚度很小，不能或不容易挖坑貼埋，只能貼于表面的工況設(shè)計(jì)的。1mm左右的厚度使其對(duì)流場(chǎng)的影響減小到很小的程度。

CYG512使用了CYG511同樣的*的硅硅直接鍵合的壓力敏芯片，具有很優(yōu)良的靜態(tài)力學(xué)特性。由于精密設(shè)計(jì)與加工的封裝結(jié)構(gòu)在將總厚度縮小到1mm左右的同時(shí)，也就大大減小了敏感元件與傳感器進(jìn)壓殼體封裝空間的容積，將淺型管腔對(duì)動(dòng)態(tài)頻響的影響減至*小，因此它具有優(yōu)良的動(dòng)態(tài)特性。

CYG512的標(biāo)準(zhǔn)量程在100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa可選訂。

CYG512的有兩種外形尺寸：一種為薄扣形。ф8 mm直徑，總厚度為1.2 mm；一種為薄條片形，6×10×1mm引出線均為4mm寬，0.15mm厚，1m長(zhǎng)柔性引線。薄扣形為不銹鋼結(jié)構(gòu)，上表面超薄不銹鋼薄膜上有激光鉆刻的均布式和螺旋線形進(jìn)氣篩孔。薄條式無(wú)頂蓋，僅在貼裝敏感元件處復(fù)蓋很薄的有機(jī)硅保護(hù)膜，用戶可接自己的實(shí)用工況需求進(jìn)行選擇。

性能指標(biāo)參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv    *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1.5 mA（表壓型）  1mA（絕壓型）（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補(bǔ)償溫度范圍     -10℃～+80℃

過(guò)載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG512系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出柔性導(dǎo)線長(zhǎng)度為1m，在1m的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時(shí)廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費(fèi)服務(wù)）

CYG512系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1512傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

八、CYG513型薄形壓力傳感器（表壓）

CYG513型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無(wú)法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG513傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG513的極薄的用于柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。

CYG513的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽(yáng)極鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄*終尺寸的薄形傳感器。

CYG513為表壓測(cè)量模式，它的標(biāo)準(zhǔn)量程在2、5、10、25、40、60、100、160、250、400、600、1000、KPa可選訂。

CYG513外形為薄園扣式。*小直徑為ф10mm、厚度為4 mm，參考?jí)毫瓤稍诒趁骈_(kāi)口引出（513G），也可以在側(cè)面引線部用毛細(xì)管引處（513D），引出線為5線柔性電線，長(zhǎng)度為1m，在1m終點(diǎn)處接有用PCB板制成的電橋補(bǔ)償平衡器，柔性電線的厚度為0.15 mm，寬度為4 mm。（也可用Φ1.75mm、Φ2.2mm、Φ2.5mm多芯屏蔽電纜出線）

CYG513由于用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性，也可用于水流動(dòng)力學(xué)用途。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)萬(wàn)赫茲頻帶。

性能指標(biāo)參數(shù)

注：量程小于25KPa: 遲滯重復(fù)性0.2%FS,零位時(shí)漂JB＜0.2mv/8h，JA＜0.3mv/8h

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1mA（恒流源）

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補(bǔ)償溫度范圍     -10℃～+80℃

過(guò)載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG513系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出柔性導(dǎo)線長(zhǎng)度為1m，在1m的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時(shí)廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費(fèi)服務(wù)）

CYG513系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1513傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

九、CYG514型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG514型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無(wú)法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將薄的CYG514傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝，因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。

CYG514的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有超薄的厚度。它綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.6mm，更有利于獲得更薄*終尺寸的薄形傳感器。

CYG514外形為薄園扣式。標(biāo)稱直徑為ф11 mm，厚度為2.8 mm(帶出線護(hù)管型厚度為3mm)，引出線為5芯屏蔽電纜，在電纜終點(diǎn)處接有用PCB板制成的電橋補(bǔ)償平衡器。

CYG514由于用敏感元件正面承壓，因此它適用于*無(wú)腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜，含水量高，可使用復(fù)蓋有有機(jī)硅凝膠保護(hù)表面及電極的CYG514S，有機(jī)硅凝膠會(huì)有些降低其動(dòng)態(tài)頻響性能。

采用薄膜有機(jī)材料覆蓋保護(hù)的產(chǎn)品CYG514P，由于保護(hù)膜厚度為um量級(jí)，因此對(duì)動(dòng)態(tài)頻響損失較少，但特制周期較長(zhǎng)及有較多的成本增加。

CYG514的標(biāo)準(zhǔn)量程在100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa可選訂。

性能指標(biāo)參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1mA（恒流源）或12VDC

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補(bǔ)償溫度范圍     -10℃～+80℃

過(guò)載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

十、CYG515型薄形壓力傳感器（絕壓）

CYG515型薄形壓力傳感器是專為復(fù)雜環(huán)境下空氣動(dòng)力學(xué)研究中，模型表面壓力場(chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無(wú)法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將CYG515傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG515的超細(xì)電纜引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。

CYG515的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有超薄的厚度。

CYG515外形為薄園扣式。1:標(biāo)稱直徑為ф11 mm，厚度為3.2 mm(帶出線護(hù)管型，線徑ф1.7mm)。 2:標(biāo)稱直徑為ф12 mm，厚度為4 mm(帶出線護(hù)管型，線徑ф2.2mm*)。3: 標(biāo)稱直徑為ф12 mm，厚度為5 mm(帶出線護(hù)管型，線徑ф2.5mm抗干擾*)。引出線為5芯屏蔽電纜，在電纜終點(diǎn)處接有內(nèi)代恒流源的電橋補(bǔ)償平衡器（尺寸ф12mm×25mm）。

CYG515由于用敏感元件背面承壓，因此它適用于無(wú)腐蝕性的氣液體測(cè)量。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)千赫茲頻帶。如果介質(zhì)因素復(fù)雜：如水中或戶外露天等環(huán)境中使用。

性能指標(biāo)參數(shù)

量程0～50KPa、100KPa、150KPa、300KPa、400KPa、800KPa、1200KPa、2400KPa (絕壓)

滿量程輸出       *小值60mv  典型值100mv  *值150mv

初始零位         *小值－20mv  典型值0mv  *值20mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值4KΩ  *值5 KΩ

輸入工作電流     1.2mA（恒流源）或12VDC

工作溫度范圍     -55℃～+120℃

補(bǔ)償溫度范圍     -10℃～+60℃

過(guò)載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

十一、CYG516型薄形壓力傳感器（表壓）

CYG516型薄形壓力傳感器是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究中，風(fēng)洞中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無(wú)法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG516傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG516的Φ4mm超細(xì)導(dǎo)氣的電纜可直接貼在模型表面上（參考管可以與電纜分離，也可與電纜一體）。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng),同時(shí)解決了參考拉力的引出。

CYG516的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)良的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽(yáng)極鍵合技術(shù)使得硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動(dòng)態(tài)性能的同時(shí)具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構(gòu)與襯底加固結(jié)構(gòu)的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄*終尺寸的薄形傳感器。

CYG516為表壓測(cè)量模式，它的標(biāo)準(zhǔn)量程在2、5、10、25、40、60、100KPa可選訂。

CYG516外形為薄園扣式。*小直徑為ф15mm、厚度為5.9 mm，參考?jí)毫?cè)面通過(guò)導(dǎo)氣電纜線部引出，引出線為5芯屏蔽電纜。 CYG516由于用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性，也可用于水流動(dòng)力學(xué)用途。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)萬(wàn)赫茲頻帶。

性能指標(biāo)參數(shù)

注：量程小于25KPa: 遲滯重復(fù)性0.2%FS,零位時(shí)漂JB＜0.2mv/8h，JA＜0.3mv/8h

滿量程輸出       *小值30mv  典型值80mv  *值130mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流     1mA（恒流源）

測(cè)量介質(zhì)溫區(qū)     -55℃～+120℃

工作溫度范圍     -40℃～+80℃

補(bǔ)償溫度范圍     0℃～+60℃

過(guò)載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG516系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1516傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

十二、CYG522型薄形水工壓力傳感器（表壓）

CYG522型薄形水工壓力傳感器是專為水動(dòng)力學(xué)研究中，水洞、水槽中試驗(yàn)?zāi)Ｐ捅砻鎵毫?chǎng)分布設(shè)計(jì)的。它尤其適用于模型很薄，無(wú)法用打孔安裝微型探針型傳感器的應(yīng)用工況。將極薄的CYG522傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。CYG522的極細(xì)的電纜線（Φ1.75mm）可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測(cè)流場(chǎng)。

CYG522的壓力敏感組件采用當(dāng)代的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。

CYG522為表壓測(cè)量模式，它的標(biāo)準(zhǔn)量程在10、25、40、60、100、160、250、400、600、1000、KPa可選訂。

CYG522外形為薄園扣式。*小直徑為ф10mm、厚度為5 mm，參考?jí)毫瓤稍诒趁骈_(kāi)口引出，也可以在側(cè)面引線部用毛細(xì)管引處，引出線為5線屏蔽電線。（外型特殊要求可定制）

CYG522由于用敏感組件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性，也可用于與硅、玻璃、不銹鋼相容介質(zhì)測(cè)量。它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)萬(wàn)赫茲頻帶。

性能指針參數(shù)

注：量程小于25KPa: 遲滯重復(fù)性0.2%FS,零位時(shí)漂JA＜0.3mv/8h

滿量程輸出       *小值25mv  典型值80mv  *值130mv

輸入工作電流     1.5mA（恒流源）

工作溫度范圍     -40℃～+80℃

測(cè)量介質(zhì)溫度范圍 -55℃～+120℃

補(bǔ)償溫度范圍     0℃～+70℃

超載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

CYG522系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出屏蔽電纜線長(zhǎng)度為1m，在1m的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管，為方便用戶，也可選擇在傳感器內(nèi)部選擇微型組件直接補(bǔ)償，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電，此時(shí)廠方將平衡管適度加大，裝入轉(zhuǎn)換恒流源。（收費(fèi)服務(wù)）如電纜長(zhǎng)度也可按照用戶需求訂制（20元/米）

CYG522系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1522傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20KHz）或4～20mA的輸出（回應(yīng)頻帶0～1KHz）、方便用戶與采集接口。

十三、CYG571微型滲透水壓力傳感器（絕壓、表壓）

該產(chǎn)品力敏元件利用硅壓阻效應(yīng)，通過(guò)MEMS工藝及微封裝技術(shù)相結(jié)合制作而成，當(dāng)敏感元件感受到壓力作用時(shí)，將會(huì)輸出一個(gè)與壓力成正比變化的電壓信號(hào)。

該產(chǎn)品適用于小尺寸模型中非飽和以及飽和土體中滲透水壓測(cè)量，通常與動(dòng)態(tài)土應(yīng)力傳感器配套使用。該產(chǎn)品具有微小的外型尺寸、較寬的量程范圍、優(yōu)異的靜態(tài)特性以及*的穩(wěn)定性，較常規(guī)滲透水壓力傳感器具有更高的靈敏度。

CYG571為表壓模式，標(biāo)準(zhǔn)壓力量程為2、5、10、15、25、40、60、100、200、400、600、1000KPa。為方便水工用戶，也可以按mH₂O為單位訂貨.

CYG571A絕壓模式，標(biāo)準(zhǔn)壓力量程為50、100、150、300、400、800、1200、2400KPa

性能指標(biāo)參數(shù)

滿量程輸出       *小值30mv  典型值60mv   *值100mv

輸入輸出阻抗     *小值3 KΩ  典型值5 KΩ  *值7 KΩ

輸入工作電流/電壓     1.2/1.5mA（恒流源），12VDC(恒壓源)

表壓型：

測(cè)量介質(zhì)溫度     -40℃～+120℃

工作環(huán)境溫度     -20℃～+60℃（可應(yīng)要求擴(kuò)寬）

補(bǔ)償溫度范圍     0℃～+50℃（可應(yīng)要求擴(kuò)寬）

絕壓型：

測(cè)量介質(zhì)溫度     -40℃～+120℃

工作環(huán)境溫度     -30℃～+105℃（可應(yīng)要求擴(kuò)寬）

補(bǔ)償溫度范圍     0℃～+50℃（可應(yīng)要求擴(kuò)寬）

過(guò)載能力         額定量程的200%(表壓型*至1.2MPa)

加速度靈敏度     ＜0.002%FS/g

電纜出線：Φ2.2mm屏蔽多芯電纜/Φ2.5mm雙屏蔽雙絞多芯電纜可選(表壓型外套防水導(dǎo)氣PVC管)

外形尺寸圖(也可特殊設(shè)計(jì)訂制)：S為超短款其透水石不可拆卸型，標(biāo)準(zhǔn)型其透水石為可拆卸型，標(biāo)準(zhǔn)透水石直徑Φ4mm，如需透水石直徑加大，傳感器直徑也需隨之加大。

CYG571系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1571傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電線相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出或4～20mA的輸出、方便用戶與采集接口。