ThermaLeverTM 探針
- 公司名稱 瑪瑞柯（上海）貿(mào)易有限公司
- 品牌
- 型號(hào) ThermaLeverTM
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2016/4/27 21:25:03
- 訪問(wèn)次數(shù) 905
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探針
ThermaLeverTM探針
ThermaLeverTM區(qū)別于以往市面上的普通，它是一種批量生產(chǎn)的熱，主要成分為改性硅元素。微懸臂的末端裝有加熱裝置，可使以一種可控的速率快速升溫至400℃。而普通則經(jīng)常需要一些手工制作，或者由于電阻由金屬薄膜制成而僅能升至較低的溫度。此外，ThermaLeverTM的另一個(gè)重要優(yōu)勢(shì)是針尖的末端半徑。以前的熱末端半徑總是比標(biāo)準(zhǔn)AFM大很多。而 ThermaLeverTM提供的橫向分辨率則大大超過(guò)其他AFM。Anasys 公司有兩種型號(hào)的ThermaLeverTM，AN2-200和AN2-300.所有這些的的針尖高度在3μm到6μm之間，微懸臂厚度在2μm左右。AN2-300的彈簧常數(shù)較低，主要用于接觸模式。而AN2-200共振頻率較高，主要用于間歇接觸模式。下圖所示的是AN系列的SEM圖。左圖顯示了整個(gè)微懸臂的的形貌而右圖顯示的是針尖附近的形貌。
下表所列的是兩種型號(hào)熱的主要技術(shù)參數(shù):
| 型號(hào) | AN2-200 | AN2-300 |
| 硅 | 硅 | |
| 電阻材料 | 改性硅 | 改性硅 |
| 長(zhǎng)度（μm） | ~200 | ~300 |
| 厚度（μm） | ~2 | ~2 |
| 針尖高度（μm） | 3~6 | 3~6 |
| 彈簧常數(shù)（N/m） | 0.5~3 | 0.1~0.5 |
| 共振頻率（kHz） | 55~80 | 15~30 |
| 針尖半徑 | ＜30 | ＜30 |
| zui大可控溫度（℃） | 350 | 400 |
| 圖像模式 | ||
| 接觸模式 | Y | Y |
| 間歇接觸模式 | Y | N |
SThM
SThM的可測(cè)量*溫度，因而能實(shí)現(xiàn)對(duì)試樣表面的導(dǎo)熱系數(shù)或溫度變化的掃描成像。表面形貌和熱性能成像圖的分辨率一般低于100nm。懸臂由SiN制成，內(nèi)嵌薄金屬線且金屬線的zui高阻抗位置在針尖附近。由于使用了金屬薄膜電阻，這類不像ThermaLever能升至很高的溫度。為了便于操作和使用，這類的針尖通常先預(yù)裝在支架上并采用電氣連接。下圖所示的是GLA的SEM掃描圖。左圖顯示了整個(gè)懸臂的形貌，右圖是針尖附近形貌。
| 型號(hào) | GLA |
| 微懸臂材料 | SiN |
| 電阻材料 | 鈀 |
| 長(zhǎng)度（μm） | ~150 |
| 厚度（μm） | ~0.5 |
| 針尖高度（μm） | 10 |
| 彈簧常數(shù)（N/m） | ~0.3 |
| 共振頻率（kHz） | 50 |
| 針尖半徑 | ＜100 |
| zui大可控溫度（℃） | 160 |
| 圖像模式 | |
| 接觸模式 | Y |
| 間歇接觸模式 | Y |
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