產(chǎn)品介紹:
四探針電阻率測(cè)試儀是按ASTM F84硅片電阻率測(cè)量的要求,用于對(duì)硅材料電阻率的測(cè)量。
規(guī)格參數(shù):
雙數(shù)字表:一個(gè)數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí),另一個(gè)數(shù)字表監(jiān)測(cè)過(guò)程中的電流變化。
電壓量程:0-199.9mV
基本誤差:±(0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%)
靈敏度:100μV
輸入阻抗:1000ΜΩ
電阻率范圍:10-3~1.9×103Ω·cm
方塊電阻范圍:10-2 ~1.9×10^4Ω/□
具有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí),電壓表指零,1、4探針接觸到硅片,測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí),電壓表指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值。
測(cè)量精度:<3%
電流量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA五檔
采用觸點(diǎn)電阻<5mΩ的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器(>10%)