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SCG高低溫真空探針臺 SCG高低溫真空探針臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


  SEMISHARE 森美協(xié)爾有限公司,是集自主研發(fā)/設(shè)計、生產(chǎn)、銷售為一體的探針測試集成系統(tǒng)和激光修復(fù)設(shè)備及解決方案供應(yīng)商,致力于為用戶提供基于探針系統(tǒng)標準的精密測量測試方案,主營業(yè)務(wù)包括半導(dǎo)體行業(yè)、光電、集成電路及封裝測試中復(fù)雜器件的精密檢測系統(tǒng)及激光修復(fù)系統(tǒng)的設(shè)計制造,有超過10年的行業(yè)經(jīng)驗和技術(shù)積累;目前設(shè)有半導(dǎo)體營銷事業(yè)部和半導(dǎo)體設(shè)備制造工廠,在多個細分市場建立了穩(wěn)定的客戶關(guān)系和供應(yīng)體系。
  經(jīng)過不斷的前沿技術(shù)創(chuàng)新,SEMISHARE可提供更完善的產(chǎn)品解決方案,幫助改善芯片產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品品質(zhì)及可靠性,縮短研發(fā)時間和器件制造工藝成本。

 

半導(dǎo)體檢測設(shè)備:探針臺,I-V/C-V參數(shù)測試儀,網(wǎng)絡(luò)分析儀,激光系統(tǒng),金相顯微鏡,EMMI微光顯微鏡,X射線,C-SAM超聲波探測,電子顯微鏡

 

低溫和高溫真空探針臺

SEMISHARE真空環(huán)境高低溫測試技術(shù)

以下兩個應(yīng)用需要真空測試環(huán)境。

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。

高溫無氧化測試:

當晶圓加熱至300,400,500甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。 

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,SEMISHARE針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。

 

SCG-C-4(閉循環(huán))/SCG-O-4(開循環(huán))特點:

     載物Chuck 溫度范圍:4.2K-480K        

外置4個定位針臂

探針X-Y-Z三方向移動,行程:25mm,定位精度:10微米

zui多可以外置6個定位針臂

載物chuck zui大可到2寸

雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度

針臂定位精度可以升級為0.7微米

極限真空到10-10 torr

可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測試

可以選擇防震桌

可以選擇超高真空腔體

客戶訂制

 

    

溫控規(guī)格:  

控溫范圍

4K-480K

控溫精度

0.1K

溫度穩(wěn)定性

4 K        + - 0.2 K

 

77 K     + - 0.1 K

 

373 K    + - 0.08 K

 

473 K       + - 0.1 K

 

823 K       + - 0.2 K(可選)

 

973 K    + - 1.0K(可選)

常溫到8K冷卻時間:

1小時40分鐘

8K到常溫升溫時間:

1小時30分鐘

 從常溫開始的升溫時間          

200      550     700 

 (4 chuck,單位分:秒)

1:00         1:30         2:00

電源

直流

材質(zhì)

不銹鋼

功率(4chuck) 

850W

      

機械規(guī)格                               

 針座行程

 X軸方向

25.4mm(1 inch)

 

可以選擇50.8mm 

 Y軸方向

25.4mm(1 inch)

 

可以選擇50.8mm 

 Z軸方向

25.4mm(1 inch)

 

可以選擇50.8mm 

移動精度

 

 X軸方向

10 micron

 

可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

 Y軸方向

10 micron

 

可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

 Z軸方向

10 micron

 

可以選擇0.35,0.7,5,10 or 20 micron

 探針可旋轉(zhuǎn)角度

+-5 度

 

 

 

光學(xué)部件規(guī)格

顯微鏡X-Y軸方向行程

2"*2"

 

可以選擇4"*4"

總共放大倍率

240X

 

可以選擇更高倍率

真空腔觀察窗口

2 inch

 

外部石英材質(zhì)99%紅外線穿過率

 

內(nèi)部吸收紅外線僅可見光通過

光源

150W可連續(xù)調(diào)節(jié)

雙光纖導(dǎo)引

 

 

可選附件

防震桌

方形chuck

分子泵組

射頻部件

Chuck可外部移動裝置

客戶定制。

 



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