SCG高低溫真空探針臺 SCG高低溫真空探針臺
- 公司名稱 深圳市森美協(xié)爾科技有限公司
- 品牌
- 型號 SCG高低溫真空探針臺
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2017/10/25 10:01:47
- 訪問次數(shù) 965
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半導(dǎo)體檢測設(shè)備:探針臺,I-V/C-V參數(shù)測試儀,網(wǎng)絡(luò)分析儀,激光系統(tǒng),金相顯微鏡,EMMI微光顯微鏡,X射線,C-SAM超聲波探測,電子顯微鏡
低溫和高溫真空探針臺 SEMISHARE真空環(huán)境高低溫測試技術(shù) 以下兩個應(yīng)用需要真空測試環(huán)境。 極低溫測試: 因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。 高溫無氧化測試: 當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。 晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,SEMISHARE針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。
SCG-C-4(閉循環(huán))/SCG-O-4(開循環(huán))特點: | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
載物Chuck 溫度范圍:4.2K-480K 外置4個定位針臂 探針X-Y-Z三方向移動,行程:25mm,定位精度:10微米 zui多可以外置6個定位針臂 載物chuck zui大可到2寸 雙屏蔽chuck高低溫時達到100FA 的測試精度 針臂定位精度可以升級為0.7微米 極限真空到10-10 torr 可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測試 可以選擇防震桌 可以選擇超高真空腔體 客戶訂制
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溫控規(guī)格:
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可選附件 防震桌 方形chuck 分子泵組 射頻部件 Chuck可外部移動裝置 客戶定制。 |