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C2GR16-氣相沉積爐

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 上海皓越真空設(shè)備有限公司
  • 品牌 HAOYUE/皓越
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/11/9 9:26:33
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 11377

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 上海皓越真空設(shè)備有限公司(簡(jiǎn)稱(chēng)皓越科技)是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售電爐為一體的高新技術(shù)企業(yè)。公司地處中國(guó)經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)上海,已擁有大型現(xiàn)代化標(biāo)準(zhǔn)廠房,成套的加工設(shè)備,完善的質(zhì)量檢測(cè)體系;匯萃了一批長(zhǎng)期從事熱處理爐、真空爐及特種爐制造和服務(wù)的技術(shù)精英,其中,研究生、本科以上學(xué)歷的工程技術(shù)人員26人,技術(shù)工人65余人的精英團(tuán)隊(duì),具備年產(chǎn)200套熱處理爐、60套大型真空爐的生產(chǎn)能力。并與上海復(fù)旦大學(xué)、上海同濟(jì)大學(xué)建立了長(zhǎng)期友好的科技合作與人才培養(yǎng)基地。

公司一直專(zhuān)注于半導(dǎo)體材料、碳材料、復(fù)合材料和鋰電材料四大領(lǐng)域,積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和技術(shù),竭誠(chéng)服務(wù)于客戶(hù),提供完善的一體式產(chǎn)業(yè)解決方案。

在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,皓越科技致力為客戶(hù)提供晶體生長(zhǎng)設(shè)備和高溫退火設(shè)備,適用于藍(lán)寶石、碳化硅、氮化鎵和氮化鋁晶體的生長(zhǎng)和退火。還推出氧化/擴(kuò)散爐、LPCVD/PECVD等薄膜生長(zhǎng)摻雜設(shè)備以及晶圓快速熱處理RTP設(shè)備。

在碳材料領(lǐng)域,皓越科技擁有提供石墨烯、碳納.米管的CVD及PECVD成套生長(zhǎng)系統(tǒng),并提供金剛石工具生產(chǎn)用真空爐和熱壓爐,以及碳材料用高溫石墨化爐等。

在鋰電材料領(lǐng)域,我們?yōu)榭蛻?hù)提供連續(xù)正極材料生產(chǎn)窯爐,有輥道窯、推板窯等,以及用于負(fù)極材料生產(chǎn)用真空爐等。

在陶瓷基復(fù)合材料領(lǐng)域,擁有碳化硅陶瓷的無(wú)壓燒結(jié)、反應(yīng)燒結(jié)和重結(jié)晶燒結(jié)設(shè)備,氮化硅粉體合成爐以及陶瓷制品燒結(jié)爐,碳化硼陶瓷熱壓燒結(jié)爐等。

上海皓越真空設(shè)備有限公司所提供的產(chǎn)品技術(shù)先進(jìn),質(zhì)量可靠,品種齊全。公司成立以來(lái)在市場(chǎng)上巳獲得用戶(hù)認(rèn)可,其產(chǎn)品質(zhì)量及服務(wù)獲得用戶(hù)的肯定,我們的優(yōu)勢(shì)不僅體現(xiàn)在高精度的溫度控制領(lǐng)域,更多的是我們?cè)诠に嚒⒄婵?,自?dòng)化控制及計(jì)算機(jī)溫度分析系統(tǒng)有杰出的人才。

皓越人的愿景:成為新材料、新能源熱處理領(lǐng)域。
皓越人的使命:推動(dòng)新材料、新能源領(lǐng)域的快速發(fā)展;為新材料、新能源行業(yè)提供熱處理解決方案。
皓越人的價(jià)值觀:
客戶(hù)為天:一切技術(shù)創(chuàng)新和服務(wù)理念均以客戶(hù)的需求為導(dǎo)向,我們堅(jiān)持以客戶(hù)為主要,持續(xù)為客戶(hù)創(chuàng)造價(jià)值,積極、快速的響應(yīng)客戶(hù)需求。為客戶(hù)提供服務(wù),是我們的工作方向和價(jià)值*,成就客戶(hù)就是成就我們自己。
誠(chéng)信為本:只有堅(jiān)持誠(chéng)信為本,才能言出必行,信守承諾。誠(chéng)信是我們很重要的無(wú)形資產(chǎn),皓越人堅(jiān)持以誠(chéng)信贏得客戶(hù)。
創(chuàng)新為先:為了更好的滿(mǎn)足客戶(hù)需求,我們需要積極進(jìn)取、勇于開(kāi)拓與創(chuàng)新。任何先進(jìn)的技術(shù)、產(chǎn)品、解決方案只有轉(zhuǎn)化為商業(yè)成功才能產(chǎn)生價(jià)值。我們堅(jiān)持以客戶(hù)需求為導(dǎo)向,并圍繞客戶(hù)需求持續(xù)創(chuàng)新。
合作為贏:為了實(shí)現(xiàn)客戶(hù)需求,除了持續(xù)創(chuàng)新,我們還要與供應(yīng)商、合作商密切合作,只有合作才能實(shí)現(xiàn)雙贏,合作是提升流程效率的有力保障。
發(fā)展為道:一切努力與奮斗,為了發(fā)展,我們成就了客戶(hù),自身也在發(fā)展。發(fā)展是硬道理,只有持續(xù)發(fā)展,我們與客戶(hù)才能攜手進(jìn)步,員工與企業(yè)才能實(shí)現(xiàn)夢(mèng)想。
皓越人的行為準(zhǔn)則:

三大作風(fēng):認(rèn)真,快,堅(jiān)守承諾;

一個(gè)目標(biāo):客戶(hù)滿(mǎn)意100;

一個(gè)保證:保證完成任務(wù)。

皓越選人用人理念:

用對(duì)人,做對(duì)事!得人才者得天下!一切競(jìng)爭(zhēng),歸根結(jié)底是人才競(jìng)爭(zhēng)。選人用人,關(guān)乎皓越的成??;把合適的人放在合適的崗位上。

真空熱壓爐,真空燒結(jié)路,真空熔煉路,SPS等離子燒結(jié)爐,SIP氣氛壓力燒結(jié)爐等

一、C2GR16-氣相沉積爐基本原理與特點(diǎn)

1.基本原理:
熱誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積(英語(yǔ):chemical vapor deposition ,CVD)是用于各種電介質(zhì),半導(dǎo)體和金屬材料的保護(hù)涂層的沉積的有力方式,無(wú)論是單晶,多晶,無(wú)定形或外延狀態(tài)上或大或小的形態(tài)。典型的涂層材料包括熱解碳,碳化硅,氮化硼。通過(guò)使用合成前體,涂層非常純凈并目滿(mǎn)足半導(dǎo)體工業(yè)的典型要求,根據(jù)工藝參數(shù),可以有多種層厚度,從單個(gè)或幾個(gè)原子層到厚度從10納米到數(shù)百微米的固體保護(hù)層或功能層,以及厚度達(dá)100微米的單片部件,甚至高達(dá)數(shù)毫米。

2.設(shè)備特點(diǎn):
(1)采用臥式、側(cè)開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu),裝、卸料精度高,操作方便;
(2)采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)范圍??;
(3)溫度均勻性好,平均溫度均勻性為±5℃;
(4)采用多通道沉積氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;
(5)全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
(6)安全性能好,采用HMI+PLC+PID程序控制,安全可靠;
(7)對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理;
(8)多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;
(9)采用設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),維修率極低。

二、C2GR16-氣相沉積爐主要技術(shù)參數(shù):

1 編號(hào) C2GR16
2 產(chǎn)品型號(hào) VHCgr-20/20/30-1600
3 最高設(shè)計(jì)溫度(℃) 1600
4 加熱元件 等靜壓石墨
5 加熱功率(kW) 45
6 冷態(tài)極限真空度(Pa) 6.7x10-3Pa(空爐、冷態(tài)、經(jīng)凈化)
7 測(cè)溫元件 鎢錸熱電偶
8 升溫速率 1~20℃/min
9 溫度均勻性 ±5℃(5點(diǎn)測(cè)溫,恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測(cè))
10 爐膛尺寸(mm) 200x200x300(WxHxD)
11 可通入氣氛 1路CH3SiCI3、1路氨氣、1路氫氣、1路氮?dú)?/td>
12 氣氛流量計(jì) 4路質(zhì)量流量計(jì)
13 設(shè)備外形尺寸(mm) 1425x1550x1850mm(LxWxH)

 

三、化學(xué)氣相沉積爐(CVD氣相沉積爐)產(chǎn)品展示圖:

C2GR16-氣相沉積爐

C2GR16-氣相沉積爐

 

 

 

 



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