一、CYG502型超微型壓力傳感器（絕壓）

標(biāo)稱尺寸外徑2mm的超微型壓力傳感器CYG502是專為流體力學(xué)實(shí)驗(yàn)中要求更小安裝尺寸的用途而設(shè)計(jì)的。是目前我公司推出產(chǎn)品中尺寸zui小的壓力傳感器。

CYG502的壓力敏感元件采用當(dāng)代的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度。離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度*性使其具有很小的溫度漂移。采用硅硅直接鍵合技術(shù)、倒V型槽設(shè)計(jì)、從而實(shí)現(xiàn)了可利用芯片薄膜尺寸的*化，為超微型傳感器的實(shí)現(xiàn)取得關(guān)鍵突破。

使用了硅–硅鍵合技術(shù)，改善了熱匹配效果，減少了應(yīng)力帶來的零位不穩(wěn)定性。

目前已面市品種有絕壓型測(cè)量模式產(chǎn)品，表壓型正在研制中。

CYG502A絕壓型超微型壓力傳感器為探針形，標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф2.1mm、Ф2.6mm，傳感器的可選量程為50、100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kPa壓力。

CYG502A絕壓傳感器用敏感元件正面承壓。因此，它僅適用于介質(zhì)為無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。它有著相當(dāng)寬的工作溫區(qū)，可達(dá)-55℃～+125℃，也有著非常優(yōu)秀的高頻動(dòng)態(tài)特性，其zui低量程的敏感元件的固有頻率＞200kHz，上升時(shí)間為亞微秒。

性能指標(biāo)參數(shù)

零位輸出         0±5mV

滿量程輸出       zui小值30mV   典型值80mV   zui大值130mV

輸入輸出阻抗     zui小值3 kΩ  典型值4.5 kΩ  zui大值6 kΩ

輸入工作電流    1mA 、1.2mA（恒流源）

存儲(chǔ)溫度范圍     -60℃～+130℃

工作溫度范圍     -55℃～+125℃（如需更寬工作溫區(qū)的產(chǎn)品請(qǐng)與工廠）

補(bǔ)償溫度范圍     10～70℃工作溫區(qū) （其它更寬溫度段可協(xié)商定制）

測(cè)量介質(zhì)         無腐蝕、不導(dǎo)電、干燥、潔凈的氣體

過載能力         額定量程的200%

加速度靈敏度     ＜0.001%FS/g

外形尺寸圖       直徑：2.1mm、2.6mm，長(zhǎng)度：18mm、11mm、7mm可選

         CYG502ASL                                 CYG502ASM

CYG502ASS                                   CYG502AML

        CYG502AMM                                     CYG502AMS

       CYG502AMM螺紋型                         CYG502AML螺紋型

CYG502系列產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品引出微型電纜（Φ1.8mm五芯屏蔽電纜）標(biāo)配長(zhǎng)度為1m（可自選加長(zhǎng)），恒流源供電在出線的末端有為傳感器信號(hào)調(diào)理與補(bǔ)償設(shè)計(jì)的小型平衡管（Φ5mm×18mm）。為方便用戶，傳感器也可以按用戶商定的恒壓源供電（10～24VDC），此時(shí)廠方將平衡管適度加大（Φ12mm×25mm），裝入轉(zhuǎn)換恒流源（收費(fèi)服務(wù)）。

CYG502系列產(chǎn)品為方便不具有，或不愿意自己現(xiàn)場(chǎng)實(shí)驗(yàn)與自制放大器的客戶提供配套服務(wù)，提供標(biāo)準(zhǔn)輸出的CYG1502傳感器，信號(hào)放大調(diào)理部份分體裝在一個(gè)與電纜相連的儀表小盒內(nèi)，它可以提供0～5V的輸出（響應(yīng)頻帶0～20kHz）或4～20mA的輸出（響應(yīng)頻帶0～1kHz）、方便用戶與采集接口。

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