高精度
· 的縱向分辨率：0.1 nm （ 接觸式）；2 nm（光學非接觸式）
· 對周圍環(huán)境和光源的強適應性
· 沒有機械過濾
寬闊的垂直測量范圍
· 多種選擇光學頭及接觸式
· 縱向掃描范圍 100mm
· 圖像“縫合”技術使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)
試用于幾乎所有的表面
· 透明，不透明，反射光強等多種材料
· 垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞
· 脆性的材料，軟材料，柔性材料表面
· 尖銳的，堅硬的，磨損的表面
適應性強
· 白光光源，人體安全設計，長壽命白光LED 免維護?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實驗室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術的*結合
· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
· 在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察
· 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率?。▃ui?。?１nm ）
· 軟件設置恒定微力接觸（0.1 to 100 [mg]）

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