EQP 等離子體質量和能量分析儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 英格海德分析技術有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 EQP
- 產(chǎn)地 英國Hiden公司
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/3/22 10:48:26
- 訪問次數(shù) 6069
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 綜合 |
Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀應用：
· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 激光燒蝕
· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
· 等離子體電極耦合，即在操作中遵從電極設定條件
· 通過視口、接地電極和驅動電極進行分析
Hiden EQP 等離子體質量和能量分析儀特點：
1、軟件控制的離子汲取光學系統(tǒng)，以使等離子體擾動z小
2、45°靜電扇區(qū)分析器，掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
3、所有能量范圍內，離子行程的z小擾動，及恒定離子傳輸
4、帶差式泵的三級過濾四極桿，質量數(shù)范圍至2500amu
5、高靈敏度 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器，有7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
6、可調諧的離子源，用于電子附著選件的表觀電勢質譜分析
7、Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護
8、信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質量分布隨時間的變化
9、1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
10、Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
11、通過RS232、RS485或Ethernet LAN，控制軟件MASsoft。
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