主要用途：
◆  粗糙和光滑表面的測(cè)量和顯示
◆  亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測(cè)量
◆  金相測(cè)量
◆  非接觸式表面輪廓的計(jì)量

主要特點(diǎn)
◆  0,1mm2到0,7mm2視場(chǎng)
◆  采用釘合方式擴(kuò)大視場(chǎng)
◆  配置物鏡切換盤
◆  確定垂直分辨率來(lái)設(shè)定測(cè)量時(shí)間
◆  橫向分辨率可達(dá)1祄，垂直分辨率zui高可到5 nm 
◆  具有采用微透鏡掃描盤的快速光學(xué)系統(tǒng)
◆  全自動(dòng)數(shù)據(jù)評(píng)估
◆  實(shí)驗(yàn)室和在線兩用設(shè)計(jì)

主要優(yōu)點(diǎn)：
◆  高保真輪廓復(fù)現(xiàn)，對(duì)物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化
◆  測(cè)量結(jié)果與材料表面性能無(wú)關(guān)
◆  根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
◆  無(wú)人干預(yù)全自動(dòng)測(cè)量過程
◆  將微透鏡掃描盤自動(dòng)伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
◆  采用壓電驅(qū)動(dòng)或步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行垂直掃描

軟件:
◆  Windows XP 操作系統(tǒng)
◆  測(cè)量和評(píng)估軟件包括下列功能：  水平調(diào)整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除， 過濾，  數(shù)學(xué)計(jì)算，F(xiàn)FT，ACF，2D/3D 粗糙度參數(shù)，面積的測(cè)定， 斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。 
◆  用戶特定要求的計(jì)算方法

技術(shù)數(shù)據(jù)：