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施啟樂(lè)(廣州)儀器有限公司

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6等離子清洗機(jī)--PDC-001

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小型等離子清洗機(jī)

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來(lái)自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價(jià)比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠(yuǎn)銷到歐洲,美國(guó),日本,德國(guó)等許多國(guó)家,廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評(píng)。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動(dòng)球磨機(jī),RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機(jī),電池制備設(shè)備等

      PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機(jī),其等離子腔體尺寸為 6"dia x 6.5"。特別適合對(duì)有機(jī)物和基片表面進(jìn)行清洗,同時(shí)可以向腔體通入不同的氣體(如氧氣和惰性氣體等),從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實(shí)驗(yàn)需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達(dá)20nm/min.對(duì)于在薄膜生長(zhǎng)前對(duì)基片進(jìn)行預(yù)處理,此款設(shè)備極為理想。

 

 技術(shù)參數(shù)

輸入功率 

 AC 110V , 50/60 Hz, < 200W 

輸出頻率

 13.56 MHz

功率

  • 低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 
  • 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 
  • 高檔740V DC 40 mA DC 30 W 

等離子腔體 

尺寸:6" dia x 6.5" l 石英腔體

真空泵和閥

  • 儀器中包括有一雙極旋片泵,2XZ-2,抽氣速率為2L/s, 
  • 泵上安裝有一個(gè)不銹鋼針閥,其接口為寶塔嘴接頭

通入的氣體 

腔體中可以通入多種氣體,如N2, Ar, Air ,也可以通入多種混合氣體,以滿足實(shí)驗(yàn)需要 ,不可以通入可燃性氣體進(jìn)入等離子腔體中

可選配件

  • 如果基片的直徑為2"4",可以選購(gòu)石英架,每個(gè)石英架上可以放25片
  • 數(shù)字式真空顯示計(jì),可以精確顯示石英腔體內(nèi)的真空度

可選真空計(jì)

(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料)

  • 可選本公司生產(chǎn)研發(fā)的電阻真空計(jì)
  • 此款真空計(jì)是以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下體現(xiàn)的熱傳導(dǎo)特性為原理而研發(fā)的一款低真空測(cè)量?jī)x器特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空度測(cè)量。
      

外型尺寸

11" H x 18" W x 9" D 

細(xì)節(jié)圖

 

操作視頻

 等離子清洗機(jī)(點(diǎn)擊查看)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保  不包括石英腔體和密封圈

質(zhì)量認(rèn)證

  CE Certified



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