IRM100-MAN 瑞士Idonus 公司紅外顯微鏡
- 公司名稱 皕赫國際貿(mào)易(上海)有限公司LEMIS Process
- 品牌
- 型號 IRM100-MAN
- 產(chǎn)地 瑞士
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2018/1/30 13:05:01
- 訪問次數(shù) 780
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瑞士Idonus 公司紅外顯微鏡
idonus紅外顯微鏡裝有長工作距離的物鏡,三步變焦可以很容易選擇視野。紅外傳感器鏡頭通過USB將圖像傳輸?shù)诫娔X。在物鏡5倍的條件下,分辨率可以優(yōu)于3 μm。另配有頂部光源,既可以作為傳統(tǒng)模式使用,又能進(jìn)行晶圓上面檢查。XY移動臺可以zui大可以檢測8英寸以內(nèi)的晶圓,移動臺用一個操縱桿進(jìn)行全自動控制。實驗室環(huán)境下,可以替換為精密的手動調(diào)節(jié)臺。
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主要產(chǎn)品:
紅外顯微鏡
IRM100-MAN
IRM-RLS
IRM-OBJ10
IRM-MC100-150
idonus紅外顯微鏡的特點:
1、背面紅外光源
2、頂部光源
3、XY移動臺zui大可檢測晶圓尺寸8英寸
4、長工作距離物鏡
5、三步變焦
6、紅外傳感器鏡頭
7、通過計算機查看
idonus紅外顯微鏡的應(yīng)用:
1、釋放后的MEMS器件的檢查
2、填埋材料的蝕刻速率測試(如SOI晶圓)
3、融熔接合的檢查
4、硅晶圓/碎片的背面校準(zhǔn)
5、質(zhì)量控制
idonus紅外顯微鏡的優(yōu)點:
1、在較高的填充因子下的可靠的加工更小的MEMS圖案
2、頂部和背部光源
3、高分辨率(5倍物鏡下分辨率優(yōu)于3 μm)
4、更小的印跡
5、操作簡單,快速顯示結(jié)果
產(chǎn)品型號:IRM 200-auto
可放置晶圓尺寸:200mm(8英寸)以內(nèi)
XY臺移動距離:200 X 200 mm
XY臺移動方式:通過操縱桿全自動控制
產(chǎn)品型號:IRM 100-man
可放置晶圓尺寸:100mm(4英寸)以內(nèi)
XY臺移動距離:100 X 100 mm
XY臺移動方式:手動
其他參數(shù):
光學(xué)分辨率:5倍物鏡下分辨率優(yōu)于3 μm
工作距離:32mm
放大倍數(shù):2.5X , 5X , 10X (5倍物鏡下)
變焦:三步變焦0.5X , 1X , 2X
攝像頭:黑白,USB接口輸出,分辨率140萬像素
紅外光源波長:1 μm
可選配件:2.5X,10X,20X物鏡;10mm,150mm晶圓適配環(huán);圖像識別軟件