三維表面形貌儀是一款便攜式表面形貌測(cè)量?jī)x，采用的白光共聚焦技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面從納米到毫米量級(jí)的粗糙度測(cè)試，具有測(cè)量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點(diǎn)，該儀器的測(cè)量探頭可以任意旋轉(zhuǎn)，適合精密測(cè)量 不可移動(dòng)樣品表面形貌，同時(shí)適合進(jìn)行野外測(cè)試。

三維表面形貌儀產(chǎn)品特性:
    1，采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率
    2，測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，精確度高
    3，測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
    4，尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面
    5，不受樣品反射率的影響
    6，不受環(huán)境光的影響
    7，測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無(wú)需特殊處理
    8，Z方向,測(cè)量范圍大：為27mm

技術(shù)參數(shù)：
    1，掃描范圍：25×25（mm）
    2，掃描步長(zhǎng)：0.1μm
    3，掃描速度：20mm/s
    4，Z方向測(cè)量范圍：27mm
    4，Z方向測(cè)量分辨率：3nm

產(chǎn)品應(yīng)用：
    MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和良好材料的研發(fā)