AXIS NOVAX射線光電子能譜儀標準主機包含單色化Al Kα X射線源，可實現(xiàn)大面積XPS分析、小面積XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能

大功率的600W單色化Al Kα X射線源，確保zui高的分析靈敏度

平均半徑165mm的雙層能量分析器，確保高能量分辨XPS分析和高空間分辨的XPS成像的浸入式磁透鏡技術(shù)，大幅度提高分析靈敏度

的快速平行X光電子實時成像，空間分辨率優(yōu)于3μm，zui高像素65,536（256×256），可進行微區(qū)元素和化學(xué)態(tài)空間分布分析的同軸超低能無陰影單電子源荷電中和器，*解決絕緣體XPS分析的二維陣列延遲線檢測器（Delay-Line Detector），同時記錄光電子的強度和發(fā)射位置，可實現(xiàn)在數(shù)秒鐘之內(nèi)獲得高能量分辨XPS譜

全自動超大樣品臺，可實現(xiàn)100mm×100mm的大樣品分析

*能量分辨率優(yōu)于 0.45eV（Ag 3d5/2）
常規(guī)分析能量分辨和靈敏度高達0.55eV@1.1Mcps（Ag 3d5/2）

絕緣體分析的分析能量分辨和靈敏度高達0.68eV@16kcps（PET的C 1s）

選配單色化Al/Ag雙陽極X射線源，實現(xiàn)高能XPS分析

結(jié)合了數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理的Vision軟件，可運行于Windows XP/Vista/7等多種平臺下，實現(xiàn)各真空室真空度實時顯示，操控真空閥門開關(guān)，實驗條件設(shè)定和全自動無人值守分析等強大功能