ALIO精密運動控制系統(tǒng)概述：

Alio創(chuàng)始于2001年，我們的理念——不斷探索更好的方法來滿足納米級運動控制的需求。這個zui初的理念逐步擴展為一條產(chǎn)業(yè)鏈：六軸運動控制系統(tǒng)、氣浮導軌系統(tǒng)、機械軸承系統(tǒng)、線性和旋轉(zhuǎn)納米級系統(tǒng)、高真空系統(tǒng)，廣泛應用于半導體、生物醫(yī)學、印刷、3D打印、光刻、微納加工、同步輻射加速器等領域。

ALIO 設計和生產(chǎn)的精密運動控制系統(tǒng)使納米水平的制造和研發(fā)成為可能。

一、線性運動系統(tǒng)

　　ALIO致力于納米精度運動的研究已超過10年。在這些年中，ALIO的工程師們滿懷激情，不斷開發(fā)產(chǎn)品、改進生產(chǎn)技術，現(xiàn)已擁有“6-D Nano Precision?”和“True Nano?”的注冊商標。在設計和制造中，ALIO采用了全新且*的技術和組件，解決了傳統(tǒng)精密定位產(chǎn)品難以避免的一些問題，產(chǎn)品已通過NIST（美國國家標準與技術研究院）的檢測，達到可追溯的納米級精度。

　　ALIO的線性平臺產(chǎn)品在內(nèi)擁有*的性能和可靠性，僅僅使用機械導軌的平臺，其性能已達到競爭者使用氣浮導軌平臺的水平。當競爭者還在研究二自由度范圍的重復性和精度時，ALIO已進入六自由度納米精度的研究。

ALIO精密運動控制系統(tǒng)

　　ALIO旗下的所有線性平臺產(chǎn)品系列均擁有世界1流的性能。為了適合不同的應用，可采用不同的配件組合，如馬達、編碼器以達到*性價比。

1. 精密交叉滾柱導軌平臺的加工及裝配擁有ALIO設計。
2. ALIO XY線性系統(tǒng)具有不可比擬的六自由度的性能。
3. 氣浮配重的音圈電機在垂直Z軸上的應用。
4. “6-D Nano Precision?”直線電機專為低成本需求設計。
5. 線性壓電馬達。

二、Hybrid Hexapods混聯(lián)六自由度精密位移臺

　　六軸并聯(lián)設計zui初被用于游樂設施中，后來又在飛行員培訓的飛行模擬器中使用。經(jīng)過多年的發(fā)展，PKM的技術不斷更新，延伸至微米精度制造、實驗室運動控制需求以及產(chǎn)品檢驗等領域。盡管現(xiàn)代許多公司叫賣可達納米級分辨率和重復精度，六自由度納米精度的真正突破是ALIO的6-D Nano Precision ?。

　　六軸并聯(lián)臺有12個節(jié)點或屈曲分別在6個移動線性鏈接的末端，有同軸及偏軸誤差。6個鏈接一旦整合到六軸并聯(lián)臺中，即使插入正逆運動方程，這個剛性問題也會導致整個系統(tǒng)的誤差增大。這所有的誤差都將不能使任何的六自由度位移臺成為True Nano ? 定位運動平臺。路徑或直線運動在納米精度運動中是至關重要的。因此，PKM在三軸并聯(lián)臺的研究中仍具有實際意義。ALIO在過去的12年里設計并改進六軸和三軸并聯(lián)臺，重點在三軸并聯(lián)臺中安裝線性軸來提高六軸并聯(lián)臺的精度。ALIO線性馬達三軸并聯(lián)臺具有低于10nm重復精度和100nm精度的無限分辨率。在XY線性運動系統(tǒng)上組裝成五軸或增加一個旋轉(zhuǎn)來組成完整的六自由度并聯(lián)精密位移臺。ALIO混合六自由度并聯(lián)精密運動控制系統(tǒng)相較于傳統(tǒng)的六軸并聯(lián)臺在精度上具有明顯的提高。

　　無論是從現(xiàn)在還是未來來看， 6-D Nano Precision?的產(chǎn)生和發(fā)展都是納米精度系統(tǒng)的自然過程，ALIO混合六自由度精密運動控制系統(tǒng)通過正逆運動實現(xiàn)了簡單設計的類六軸運動系統(tǒng)，以G代碼編程來解決CAD-CAM的裝配問題。

　　ALIO混合六自由度精密運動平臺具有可擴展性，可載物100公斤，行程支持從5毫米到1米以上。不論產(chǎn)品尺寸大小， 6-D 運動系統(tǒng)都優(yōu)于其他產(chǎn)品使之保持在一個精度范圍內(nèi)。該設計與制造的突出特點就是，即使增強工作結構的體積或剛性強度，都能使系統(tǒng)保持直線運動。

　　總之，六軸并聯(lián)臺除了非常適合于處理6-D Nano Precision?的應用，仍有很多其他應用領域。ALIO混合并統(tǒng)將更好的服務于各項應用，特別是True Nano?可用于剛性需求增強的平直度和平整度的機械加工和粘接。

三、并聯(lián)運動系統(tǒng)

　　ALIO擁有兩項并聯(lián)運動機器人的：1、三軸Tripod（美國號6769194）；2、六軸Hexapod（美國號6671975），該系統(tǒng)取得了革命性的突破，能保證加工工藝和產(chǎn)品檢測達到納米精度。

　　早在2001年，由ALIO設計制造的真納米Tripod和Hexapod機器人首度面世，并取得。多年以來，ALIO的Hexapod一直都是六軸機器人納米應用的業(yè)界標準。ALIO真納米Hexapod的運動速度高達250毫米/秒，依然能保證虛擬編程的*中心點的定位精度達到納米級。該系列產(chǎn)品已奠定下一代自動化納米定位系統(tǒng)的基石，可滿足諸多域諸如光電子、封裝、測量測試、微加工、政府、醫(yī)療和半導體制造等非?？量痰膽?。

四、氣浮導軌系統(tǒng)

ALIO開發(fā)的*產(chǎn)品--6自由度納米定位氣浮導軌運動系統(tǒng)，廣泛應用在制造、檢驗、維修和計量等領域。ALIO的氣浮產(chǎn)品廣泛應用于半導體、航天、噴墨打印、光刻、光學檢測、光伏等領域，擁有多項平面和Z軸方面的。

　　ALIO旗下的納米精密平面氣浮導軌系統(tǒng)已將氣浮導軌運動的性能提升到一個全新的水準，該系統(tǒng)的目的就是滿足和超越當今半導體晶片、平板顯示、納米制造和光學檢測等領域?qū)芏ㄎ幌到y(tǒng)的苛刻要求。

五、Z軸升降運動系統(tǒng)

傳統(tǒng)的Z軸楔垂直平臺，至少包括復雜的彎角、3套導軌、帶聯(lián)軸器和編碼器的電機這些結構件，每個組件都會增加整體誤差，嚴重影響系統(tǒng)整體的精確度。

　　ALIO摒棄這種設計，提供了一系列高精度、高重復性的垂直平臺。

六、旋轉(zhuǎn)運動系統(tǒng)

　　ALIO為滿足并超越當今高精度旋轉(zhuǎn)運動的需求，ALIO開發(fā)了真納米精度旋轉(zhuǎn)平臺。該產(chǎn)品線日漸豐富，我們愿與廣大客戶合作，提供解決方案，滿足客戶需求。

七、真空運動系統(tǒng)

      在*科技行業(yè)中，要求運動尺度越來越小已成為共同趨勢，相應地納米運動管理更加普及深入。在眾多對定位敏感的行業(yè)，如光纖、生物醫(yī)學、微型機械、電子、半導體、能源、光學、航空航天、同步加速器等等，這種趨勢是很普遍的。      在納米精度的真空平臺和機器人系統(tǒng)方面，ALIO已積累豐富經(jīng)驗。除氣浮導軌系統(tǒng)外，ALIO的其他產(chǎn)品均適用于超高真空環(huán)境。用于高真空（10-7托）和超高真空（10-10托）環(huán)境的各種平臺和系統(tǒng)如線性、旋轉(zhuǎn)、中空XY、Hexapod、Tripod和測角器等，所有的超低出氣材料和部件都經(jīng)過精心準備和烘烤。

      納米定位應用要求非?？量?，當運動處于真空下，或要求延長行程、重復性更精細、速度更高、正常運行時間更長、成本更低時，就更增加了復雜程度。

　　要使各組件*而協(xié)調(diào)地一起工作以達到納米精度，在加工和選擇組件上的挑戰(zhàn)不容低估。驅(qū)動機構、導軌、反饋系統(tǒng)、運動控制器、運動結構和環(huán)境均需要設計完善，以滿足在大氣或真空環(huán)境的納米精度。真空環(huán)境下的挑戰(zhàn)會隨真空度、定位性能、出氣的不同而變化。

八、定制運動系統(tǒng)

　　ALIO用企業(yè)的核心技術為OEM客戶提供定制化服務，令客戶顯著增效，同時也促進了新納米精度應用的推廣運用。不僅如此，ALIO不斷超越OEM客戶的需求，幫助客戶成為其行業(yè)*。

　　將模型整合去滿足甚至超越客戶的*需求，在此方面，ALIO有非常豐富的成功案例，并*跟蹤服務。因此，ALIO獲得眾多客戶的*青睞。

　　一直以來，ALIO秉承誠實和正直的宗旨，幫助客戶理解精密應用的復雜性。ALIO不只是局限于達到客戶其所想，更是將相關知識為客戶深入剖析，促其升華。