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JSM-7800F Prime場發(fā)射電子顯微鏡

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營業(yè)據(jù)點(diǎn)

東莞市協(xié)美電子有限公司

東莞市協(xié)美電子有限公司 怡星(中國)有限公司

怡星公司Star Joy Limited在華轉(zhuǎn)投資機(jī)構(gòu)包括:怡星(中國)有限公司,其子公司為東莞市協(xié)美電子有限公司。營業(yè)辦事處包括上海丶東莞丶香港丶臺北等地區(qū)。為您提供*的優(yōu)質(zhì)服務(wù)。

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JSM-7800F Prime場發(fā)射掃描電子顯微鏡

JSM-7800F Prime場發(fā)射電子顯微鏡

JSM-7800F Prime采用新開發(fā)的超高分辨率GBSH模式,達(dá)到了世界zui高水準(zhǔn)的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍,將zui大探針電流從200nA提高到了500nA。

浸沒式肖特基Plus場發(fā)射電子槍

電子槍和低像差聚光鏡的優(yōu)化組合,實(shí)現(xiàn)了更高的亮度,能有效采集電子槍中發(fā)射的電子,即使在低加速電壓下也能獲得數(shù) pA~數(shù)10 nA 探針電流,保持zui小的物鏡光闌就可以進(jìn)行納米尺寸的高分辨率觀察、快速元素面分布及EBSD分析。

JSM-7800F Prime場發(fā)射掃描電子顯微鏡
JSM-7800F Prime場發(fā)射掃描電子顯微鏡

利用GBSH(GENTLE BEAM SUPER HIGH RESOLUTION)觀察樣品表面

以前的GB※模式經(jīng)過改進(jìn)后,可以對樣品施加更高的電壓,這樣在低加速電壓下也能獲得超高分辨率的圖像。從樣品的淺表面觀察到納米尺寸的元素分析,GBSH能根據(jù)各種不同的應(yīng)用選擇加速電壓。※Gentle Beam(GB) 通過給樣品加以偏壓(GB),對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。

通過GENTLE BEAM (即柔和光束GB模式)觀察樣品的淺表面

給樣品加以偏壓(GB),對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達(dá)樣品時的能量很低,也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式,用數(shù)十電子伏能量的入射電子束,就可以進(jìn)行更高分辨率的觀察。

JSM-7800F Prime場發(fā)射掃描電子顯微鏡
JSM-7800F Prime場發(fā)射掃描電子顯微鏡

通過多個檢測器獲取樣品的所有信息

JSM-7800F配有四種檢測器:高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)。UED過濾器的電壓不同,二次電子和背散射電子的數(shù)量會改變,因此可以選擇電子的能量,USD檢測被過濾器彈回的低能量電子,BED通過檢測低角度的背散射電子,能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。

 

應(yīng)用實(shí)例

利用GBSH進(jìn)行觀察

JSM-7800F Prime 標(biāo)配了GBSH模式。下圖是高定向熱解石墨(HOPG)解理面的二次電子像,到達(dá)樣品時的能量為1keV,左圖中樣品偏壓為-2kV,右圖中樣品偏壓為-5kV。 可以看出利用GBSH(樣品偏壓-5 kV)模式觀察,HOPG的微細(xì)結(jié)構(gòu)更加清晰,達(dá)到的分辨率更高。

以前的技術(shù) 樣品偏壓2KV

技術(shù) 樣品偏壓5KV

 

產(chǎn)品規(guī)格

分辨率 0.7 nm(15 kV)
0.7 nm(1 kV)
3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)
倍率 ×25 ~ ×1,000,000(SEM)
加速電壓 0.01kV ~ 30kV
樣品照射電流(探針電流) 數(shù)pA~500nA
自動光闌角*控制透鏡 內(nèi)置
檢測器 高位檢測器(UED)
低位檢測器(LED)
能量過濾器 UED過濾器電壓可變功能內(nèi)置
Gentle Beam (GB模式即柔和光束) (樣品偏壓) 內(nèi)置
數(shù)字圖像 1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素
樣品交換室 由TYPE2A構(gòu)成
樣品臺 全對中測角樣品臺、5軸馬達(dá)驅(qū)動
X-Y X:70mm, Y:50mm
傾斜 -5 ~ +70°
旋轉(zhuǎn) 360°
工作距離 2mm to 25mm
真空系統(tǒng) SIP 2臺、TMP、RP
節(jié)能設(shè)計(jì) 正常運(yùn)行時: 1.3kVA
節(jié)能模式時: 0.8kV

 

JSM-7800F的物鏡采用的是靜電場和靜磁場疊加的超級混合式物鏡(SHL),由于減少了色差及球差,*地提高了低加速電壓下的分辨率。此外,SHL不會對樣品形成磁場影響,因此觀察磁性材料的樣品和進(jìn)行EBSD測試可以不受制約。



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