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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>聚焦離子束顯微鏡(FIB)>FILMER 聚焦離子束激光離子化納米質(zhì)譜成像系統(tǒng)

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FILMER 聚焦離子束激光離子化納米質(zhì)譜成像系統(tǒng)

參考價 11
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

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原子顯微鏡,掃描探針顯微鏡/SPM 納米紅外




聚焦離子束激光離子化納米質(zhì)譜成像系統(tǒng) (FILMER)

                                    -納米尺寸表面質(zhì)譜成像

FILMER基于二次離子質(zhì)譜技術(shù),集成了聚焦離子束,掃描電子顯微鏡和激光器。

功能

? 二次離子質(zhì)譜

                                           

原理

用聚焦離子束濺射試樣表面,收集和分析排出的二次離子;

數(shù)據(jù)采集

這些二次離子的質(zhì)量/電荷比及質(zhì)譜可確定元素,同位素,或分子組成;

?激光二次中性質(zhì)譜(Laser-SNMS

                                             

原理

用聚焦離子束濺射試樣表面,使用激光共振電離大多數(shù)濺射中性原子;

數(shù)據(jù)采集

與二次離子質(zhì)譜相同

?聚焦離子束精細加工

                                         

可以通過連續(xù)Ga聚焦離子束連續(xù)濺射樣品表面除去想要除去的部分;

?二次離子質(zhì)譜及掃描電子顯微鏡觀測

                       

可實現(xiàn)二次離子質(zhì)譜及掃描電子顯微鏡兩種觀測方式;

         

 

主要特點:

1. 高空間分辨率

□ 橫向分辨率 < 40nm

□ 質(zhì)譜分辨率 m/Δm >7000@m/z=56

2. 可原位加工和分析,避免暴露于空氣中

□ SEM小損傷觀測,可定位值FIB相同位置;

□ 可分析顆粒表面及橫截面;

3. 可實現(xiàn)激光二次中性質(zhì)譜

□ 與傳統(tǒng)SIMS相比可顯著改善信號靈敏度;

□ 高靈敏度的有機化合物分析;


技術(shù)參數(shù):


性能


原始束流

30kV Ga+

橫向分辨率

40 nm

測量范圍

500μm ~ 500nm

質(zhì)譜分析

飛行時間TOF

質(zhì)譜分辨率m/z = 56)

m/Δm = 7000

激光器

飛秒激光器

激光波長

1030nm, 515nm, 355 nm, 257nm

激光能量

10W / 1mJ (1030nm)

掃描電子顯微鏡

30kV  ~ 5 kV

掃描電子顯微鏡橫向分辨率

30nm

樣品尺寸

X1cm×Y1cm×Z3mm

機械操作

5

可選

電荷中和裝置轉(zhuǎn)移容器,



應用案例   請或登錄我們的www.masrc-china。。com

歡迎您的來訪!



 



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