化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>分子束外延(MBE)>SVTA-LMBE 美國SVT激光分子束外延設(shè)備/LMBE/Laser MBE
SVTA-LMBE 美國SVT激光分子束外延設(shè)備/LMBE/Laser MBE
- 公司名稱 北京中精儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 SVTA-LMBE
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/23 9:02:58
- 訪問次數(shù) 6680
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,汽車 |
|---|
產(chǎn)品簡介
Laser MBE具備PLD和傳統(tǒng)MBE的特點，對薄膜的生長速率進(jìn)行精確（原子層級別）控制。設(shè)備特點是在MBE系統(tǒng)上增加激光燒蝕工藝，系統(tǒng)可以生長包括高熔點陶瓷以及多元素固體材料等各種材料。SVT有20年的MBE設(shè)備制造經(jīng)驗，我們擅于通過在線監(jiān)控薄膜生長來提高薄膜質(zhì)量。所采用的在線監(jiān)控儀器包括：溫度測量儀、厚度測量儀、RHEED、束流監(jiān)控儀等。如果您想了解更多這方面的信息，請。
應(yīng)用
氧化物半導(dǎo)體、高溫超導(dǎo)材料、光學(xué)晶體材料、電光學(xué)薄膜、鐵電以及鐵磁材料等
標(biāo)準(zhǔn)性能
● 超高真空（本底壓強<1E-10 Torr）
● 集成多種類型源，包括：
- RF等離子體源
- 熱蒸發(fā)源
- 電子束蒸發(fā)源
- 臭氧傳送系統(tǒng)
● 先進(jìn)的在線監(jiān)控儀（可選）
- 原子吸收束流監(jiān)控儀
- RHEED
- 溫度以及厚度測量儀
● 6個可旋轉(zhuǎn)PLD靶
● 高功率準(zhǔn)分子激光器
● 提供合適的泵抽組合
● 多種腔室配置以滿足您的需求
● 培訓(xùn)以及服務(wù)支持
技術(shù)參數(shù)
Nitride Systems
Oxide Systems
Silicon Systems
Metal Organic Systems
Generic III-V and II-VI Systems
Compact MBE System (pdf brochure)
Dual Chamber MBE System (pdf brochure)
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