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NPE-3000 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2023/11/13 11:52:35
  • 訪問次數(shù) 1891

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域(包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣)的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構(gòu)提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備(包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等)。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀,包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)(PTR)質(zhì)譜儀、電子轟擊電離(EI)質(zhì)譜儀等。





ALD,PECVD,RIE,磁控濺射,熱蒸鍍,電子束,離子束,晶圓清洗機,PA-MOCVD,飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

PECVD沉積技術(shù)

NPE-3000 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)概述:NANO-MASTER PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜到至大可達(dá)12” 直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產(chǎn)生等離子,具有分形氣流分布的優(yōu)勢.樣品臺可以通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機械泵,腔體可以達(dá)到低至10-7 torr的真空。標(biāo)準(zhǔn)配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求,無論是等離子強度、均勻度,還是要分別激活某些活性組份,這樣系統(tǒng)可以覆蓋z廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù)。

NPE-3000 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)應(yīng)用:

  1. 等離子誘導(dǎo)表面改性:就是通常所說的用等離子實現(xiàn)表面改性(如親水性、疏水性等)
  2. 等離子清洗:去除有機污染物
  3. 等離子聚合:對材料表面產(chǎn)生聚合反應(yīng)
  4. 沉積二氧化硅、氮化硅、DLC(類金剛石),以及其它薄膜
  5. CNT(碳納米管)和石墨烯的選擇性生長:在需要的位置生長CNT或石墨烯。

特點:

  • 臺式系統(tǒng)
  • 不銹鋼或鋁制腔體
  • 極限真空可達(dá)10-7Torr
  • RF淋浴頭,HCD或微波等離子源
  • 高達(dá)12”(300mm)直徑的樣品臺
  • RF射頻偏壓樣品臺
  • 水冷樣品臺
  • 可加熱到的800 °C樣品臺
  • 加熱的氣體管路
  • 加熱的液體傳送單元
  • 抗腐蝕的渦輪分子泵組
  • 1路載體氣體以及3路反應(yīng)氣體,帶MFC
  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
  • 菜單驅(qū)動,4級密碼訪問保護
  • 完整的安全聯(lián)鎖 


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