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PLD-01/PLD-02 美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京中精儀科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 PLD-01/PLD-02
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/11/28 14:44:57
  • 訪問次數(shù) 3907

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北京中精儀科技有限公司是一家致力于提供先進的科研生產(chǎn)測試儀器及相關(guān)技術(shù)咨詢服務(wù)的科技企業(yè), 公司由來自美國的相關(guān)領(lǐng)域資深專家成立, 公司總部設(shè)在美國加州硅谷地區(qū)。

公司多年來秉承著“精益求精”的經(jīng)營理念,為中國高等院校、科研機構(gòu)、生產(chǎn)企業(yè)配備了大量先進的專業(yè)儀器。提供了高水平、專業(yè)化的技術(shù)產(chǎn)品及高質(zhì)量的售后服務(wù)。

公司銷售的產(chǎn)品涉及到:

(1)材料力學(xué)試驗機:摩擦磨損試驗機,耐磨試驗機,真空試驗機,電化學(xué)腐蝕試驗機,疲勞試驗機,彎曲扭轉(zhuǎn)試驗機,微納劃痕儀、壓痕儀,高溫微米壓痕儀等。

 

(2)材料表面分析 :三維形貌儀,白光干涉儀,激光共聚焦顯微鏡,原子力顯微鏡等。

(3)半導(dǎo)體設(shè)備/CMP :原子層沉積系統(tǒng)(ALD),MBE分子束外延系統(tǒng),激光脈沖沉積(PLD),物理氣相沉積系統(tǒng)(PVD),化學(xué)機械拋光設(shè)備(CMP)等。

(4)生化儀器:激光拉曼光譜儀等

(5)扭矩測試:多功能扭矩測試儀,電機扭矩測試儀,軸承扭矩測試儀等。

多功能摩擦磨損試驗機,形貌儀,輪廓儀,摩擦儀,

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件

美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD應(yīng)用

● 多元素復(fù)合氧化物

● 高溫超導(dǎo)材料

● 磁性材料、金屬材料

● 低蒸汽壓材料

● MEMS


基本系統(tǒng)

腔室及真空泵

12’’ 快速門,250l/s 分子泵,全量程規(guī)


沉積源

靶臺,6X1’’(25mm) 靶,可以水平旋轉(zhuǎn),可Z方向移動


樣品臺

1’’(25mm)大小,可加熱至800oC(1000oC可選),可水平旋轉(zhuǎn),可Z方向移動


在線工藝監(jiān)控

石英晶振沉積速率監(jiān)控儀


自動化

自動化裝置:

控制樣品溫度和旋轉(zhuǎn)

靶臺的位置控制

靶臺旋轉(zhuǎn)

氣體控制

速率及厚度計算(利用QCM輸出)

激光束掃描(可選)

激光束屏蔽控制

自動泵抽和充氣

差分泵抽結(jié)構(gòu)

RHEED分析(可選)

裝載室壓強監(jiān)控(可選)


美國SVT 脈沖激光沉積設(shè)備/PLD主要特點
RF射頻等離子源(氧,氮)
升級高真空
增加進樣室
升級為Laser-MBE (L-MBE)系統(tǒng)
自動軟件控制

提供更潔凈的薄膜生長環(huán)境,控制解決方案








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