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YZ-2010 宇正YZ-2010石英管式微波等離子體裝置

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    合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司(宇正公司)是以微波等離子體應(yīng)用技術(shù)及其相關(guān)裝置、工藝為研究開發(fā)對(duì)象的高科技公司,專業(yè)從事微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)和生產(chǎn),致力于微波等離子體應(yīng)用技術(shù)的科技成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化。宇正公司的主營業(yè)務(wù)為等離子體技術(shù)應(yīng)用設(shè)備與制品,微波能應(yīng)用技術(shù)設(shè)備與制品,以及科技咨詢與技術(shù)服務(wù)等。


    合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司依托*合肥物質(zhì)科學(xué)研究院(包括等離子體物理研究所、智能機(jī)械研究所等單位)與中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)的人才資源和技術(shù)優(yōu)勢(shì),由部分*從事國家重大科學(xué)工程的科技研發(fā)人員創(chuàng)建,擁有一批微波等離子體應(yīng)用技術(shù)方面的*專家和中堅(jiān)骨干,形成一支經(jīng)驗(yàn)豐富的集高頻,微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機(jī)械設(shè)計(jì)加工以及成套工程技術(shù)和高級(jí)管理相結(jié)合的精干團(tuán)隊(duì)。宇正公司緊密追蹤微波等離子體應(yīng)用技術(shù)的*水平,站在技術(shù)發(fā)展的前沿。宇正公司還擁有嚴(yán)格的質(zhì)量管理和*的顧客服務(wù)體系。宇正公司的宗旨是為用戶提供優(yōu)質(zhì)的微波等離子體應(yīng)用技術(shù)產(chǎn)品和滿意的服務(wù)。


    宇正公司具有微波、真空、等離子體測(cè)試手段,計(jì)算機(jī)CAD系統(tǒng),多種微波和等離子體實(shí)驗(yàn)研究系統(tǒng)以及必要的工藝和機(jī)械加工裝配手段,具備了從理論計(jì)算、數(shù)值模擬、工程設(shè)計(jì)、加工裝配、調(diào)試檢驗(yàn)、批量生產(chǎn)和質(zhì)量控制等一整套研開發(fā)以及專業(yè)化生產(chǎn)的優(yōu)勢(shì)能力。公司具有可靠的材料,元器件供貨渠道和外協(xié)加工配套基地。宇正公司技術(shù)核心團(tuán)隊(duì)成員從事微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研究開發(fā)二十余年,曾到*公司和大學(xué)研究機(jī)構(gòu)訪問合作,將*的技術(shù)和理念直接引進(jìn)國內(nèi)。經(jīng)過多年堅(jiān)持不懈的研究和開發(fā),已在微波等離子體*領(lǐng)域形成了一套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù),在國內(nèi)居*地位。并已與國內(nèi)眾多家用戶有著密切的合作關(guān)系和良好的信譽(yù)。


    宇正公司曾經(jīng)為多個(gè)用戶制造過不銹鋼腔體式、石英管式、石英鐘罩式和水冷夾套不銹鋼腔體式微波等離子體化學(xué)氣相沉積制備金剛石膜裝置,微波等離子體余輝聚合有機(jī)薄膜裝置,微波等離子體小試樣紡織品處理裝置,微波等離子體高聚物表面活化裝置,微波等離子體清洗(去膠)裝置,通用型ECR等離子體裝置,ECR等離子體源離子注入(ECRPIII)裝置等等,宇正公司也是微波等離子體應(yīng)用領(lǐng)域的高技術(shù)研究向產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)化的操作平臺(tái),根據(jù)市場(chǎng)需要自行研制各種微波等離子體應(yīng)用裝置,或者與有關(guān)大學(xué)(研究所或企業(yè)研發(fā)部門)合作研制特定用途的微波等離子體*設(shè)備與工藝,*國內(nèi)技術(shù)空白。

YZ-2多功能微波等離子體裝置
金剛石膜制備裝置
紡織品處理裝置
高聚物表面活化裝置
微波等離子體清洗去膠裝置

概述
宇正YZ-2010石英管式微波等離子體裝置由合肥宇正等離子體技術(shù)有限公司研發(fā)生產(chǎn),技術(shù)*,性能穩(wěn)定。本裝置利用微波激勵(lì)氣體放電在石英管中產(chǎn)生穩(wěn)態(tài)等離子體,等離子體產(chǎn)生效率高。樣品裝卸簡(jiǎn)捷,操作方便,維護(hù)簡(jiǎn)單。輸入不同的工作氣體,可進(jìn)行薄膜材料的制備、化學(xué)合成、表面刻蝕、等離子體燒結(jié)等多方面的實(shí)驗(yàn),可廣泛用于物理、化學(xué)、材料等領(lǐng)域。

技術(shù)指標(biāo)與特性
1) 裝置常規(guī)采用380V三相電源。按用戶要求亦可采用220V單相電源。
2) 微波發(fā)生器由帶有水冷磁控管的激勵(lì)腔和微波源供電電源組成。微波頻率2.45GHz。微波功率0-800W連續(xù)可調(diào)(zui大功率可達(dá)1200W)。帶有微波輸出功率顯示(精確至1W)和反射指示??砷L時(shí)間連續(xù)工作。微波耦合腔為水冷夾套結(jié)構(gòu),滿足各類實(shí)驗(yàn)要求。
3) 等離子體反應(yīng)室為內(nèi)徑ф50mm的石英管真空室,頂部觀察窗和正與左側(cè)面的觀察網(wǎng)孔方便進(jìn)行各種實(shí)驗(yàn)觀察。
4) 基片臺(tái)位置可調(diào)節(jié),并方便拆卸,裝卸區(qū)直徑ф50mm,并可選配石英基片臺(tái)與石墨基片臺(tái)?;_(tái)為微波等離子體自加熱,溫度自室溫至1200℃。
5) 配備冷卻水循環(huán)系統(tǒng),無水源要求。確保裝置高功率下長時(shí)間安全穩(wěn)定運(yùn)行。
6) 兩路氣體輸入,在等離子體發(fā)生室頂部中心輸入工作氣體。
7) 真空度顯示(精確至1Pa)。                               
8) 氣體流量在較大范圍可調(diào)并顯示(精確至0.01L/min)。      
9) 無電極放電,避免了電極污染,能量轉(zhuǎn)換效率高。



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