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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>勻膠機(jī)>EZ4 勻膠機(jī)(旋涂儀)

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EZ4 勻膠機(jī)(旋涂儀)

參考價 8500
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 江陰市佳圖科技有限公司
  • 品牌
  • 型號 EZ4
  • 產(chǎn)地 中國江陰
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2016/8/26 12:01:24
  • 訪問次數(shù) 2131

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


江陰市佳圖科技有限公司專注于為微電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域的高等院校、科研院所以及各類生產(chǎn)企業(yè)提供國內(nèi)外*的半導(dǎo)體制造及封裝實驗設(shè)備和器材。我們的產(chǎn)品被廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、MEMS生產(chǎn)、薄膜技術(shù)...,主要產(chǎn)品有勻膠機(jī),烤膠機(jī),電解雙噴儀,提拉鍍膜機(jī),噴膠機(jī)等產(chǎn)品的生產(chǎn),研發(fā)和銷售,已經(jīng)成為國內(nèi)度Z高品牌!

實驗室設(shè)備:勻膠機(jī),烤膠機(jī),減薄儀,電化學(xué)工作站

EasyCoater 4勻膠機(jī)被設(shè)計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物,使用工業(yè)級直流馬達(dá)和單片機(jī)控制,文本顯示器人機(jī)界面。

 

  EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼,PP材料內(nèi)腔,經(jīng)久耐用。
 

◆   結(jié)構(gòu)緊湊

EZ4外型尺寸為:210(W)*250(D)*200(H),特別適合放于手套箱內(nèi)操作。zui大可旋涂4寸圓晶的底物。

 

◆   簡單易用

文本顯示屏,界面簡單易用,清晰的功能按鍵,方便靈活操作。

 

◆  程控操作

可提供單步或多步編程旋涂工藝運(yùn)行,zui多可運(yùn)行5步不同轉(zhuǎn)速及加速度的旋涂程序。

 

◆   性能穩(wěn)定

工業(yè)級直流馬達(dá),單片機(jī)控制,轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定,重復(fù)性好。

 

◆   設(shè)計新穎

全鋁合金外殼,陽極氧化鋁耐腐蝕機(jī)身。全PP注塑耐腐蝕易清潔旋轉(zhuǎn)腔,PC耐腐蝕透明蓋。

 

產(chǎn)品參數(shù)說明: 

? ●PP耐腐蝕、易清潔注塑內(nèi)腔,HDPE耐腐蝕真空吸盤

? ●陽極氧化鋁耐腐蝕機(jī)身,美觀耐用

? ●耐溶劑性PC透明蓋子,恒定扭矩定位功能

? ●文本顯示器,按鍵控制

? ●75W直流無刷電機(jī),單片機(jī)控制

? ●可處理碎片(小于1cm)至6英寸圓晶底物

? ●轉(zhuǎn)速可控范圍:100-10000RPM,轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM

? ●加速度可控范圍:100-10000RPM/S

? ●可進(jìn)行多步程序運(yùn)行,zui多編輯運(yùn)行5步程序

●寬輸入電壓適用:AC100-230V輸入

產(chǎn)品外形尺寸:

 外形尺寸:210 (W) * 250 (D) * 204 (H)

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