高精密勻膠機(jī)  

LH3-SC200-SE精密勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備，它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬(wàn)美元設(shè)備（track）的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。  

不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀；工業(yè)級(jí)別400瓦伺服電機(jī)系統(tǒng)，采用于track設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序，使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義；同類產(chǎn)品中的zui大達(dá)到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度，確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和*的可重復(fù)性。  

主要性能指標(biāo)：  

主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）  

旋涂程序：zui多存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可精確到0.1秒  

轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm  

旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s  

馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差<±1rpm  

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性<1rpm  

工藝時(shí)間設(shè)定：0-3,000sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec  

支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）  

旋涂作業(yè)均勻性：<±3%在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）  

產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)：  

的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì)，縮小了設(shè)備的尺寸。  

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。  

on®/polyethylene“密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。  

標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。  

采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī)，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。  

機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，*生銹，便于清洗。  

排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部（以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。  

透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

產(chǎn)品外型尺寸：  

613mm(D)*463mm(W)*306mm(H)