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特點(diǎn):
1、晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電
極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,高低溫真空探針臺(tái)針座位于腔體外部,
便于操作重新調(diào)整探針位置。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針
的位置。針座行程 X-Y-Z :25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch)*25.4mm(1 inch),精度
10 micron(有效行程和精度可選);
2、工作臺(tái)溫度范圍:-150℃——400℃,顯示精度0.1℃,控溫精度2℃,工作臺(tái)溫度均勻
性5℃,常溫到-150℃冷卻時(shí)間:1小時(shí)40分鐘,常溫到400℃加熱時(shí)間:40分鐘;
3、真空腔體極限真空到6.67*10-1Pa(配置機(jī)械泵);
4、可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測(cè)試;
5、選配:顯微鏡、防震桌、方形工作臺(tái)、分子泵組、射頻部件等。