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FlatMaster MSP300平面度儀平坦度儀
- 公司名稱 篤摯儀器（上海）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2023/12/22 10:26:34
- 訪問次數(shù) 1683
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,航天,汽車 |
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美國康寧Corning Tropel Flatmaster MSP-300 平面度儀也稱為平面度測(cè)量儀、平整度儀、平坦度儀等，為精密部件的制造商提供了業(yè)界*先的表面形態(tài)測(cè)量。通過非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)記錄下整個(gè)表面的 數(shù)據(jù)。Flatmaster MSP-300平面度儀能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量。FLATMASTER 300平面度測(cè)量儀可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測(cè)量，超過20年的工業(yè)應(yīng)用，幾百臺(tái)的裝機(jī)量。
美國FlatMaster MSP-300平面度測(cè)量系統(tǒng)/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應(yīng)用光學(xué)等材料科學(xué)和制程工藝領(lǐng)域的知識(shí), 美國康寧CORNING平面度測(cè)量儀品牌創(chuàng)造并生產(chǎn)出了眾多被用于高科技消費(fèi)電子、移動(dòng)排放控制、通訊和平板顯示等科 學(xué)領(lǐng)域產(chǎn)品的關(guān)鍵組成部分。
測(cè)量300毫米玻璃和硅晶片的平面度，厚度和厚度變化的能力對(duì)于成功集成3DIC組件非常重要。 傳統(tǒng)的接觸式探頭或傳統(tǒng)的干涉測(cè)量系統(tǒng)太慢，或者對(duì)于較大的視野而言沒有必要的精度。 Tropel®FlatMaster®MSP-300（平面度測(cè)量儀）是一種****，可為300毫米玻璃和硅晶片提供快速，準(zhǔn)確的測(cè)量。 在幾秒鐘內(nèi)，以亞微米的精度收集了超過300萬個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)，從而能夠表征整個(gè)表面的總厚度和平坦度 |  |  |
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測(cè)量多種不同指標(biāo)：
?厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/ 壓力/翹曲度
/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓。
完整的分析系統(tǒng)：
?三維/ 拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑
切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度;
?實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、 快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定且靈活的測(cè)量
技術(shù)參數(shù)：
? 重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
? 分辨率：5nm （0.2μ″）
? 可測(cè)量工件尺寸：5mm-300mm
? 動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍：>100um
? 測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000
? 測(cè)量時(shí)間：5秒
? 電源：～220V 50Hz
| 儀器型號(hào) | FlatMaster MSP40 | FlatMaster MSP150 | FlatMaster MSP300 | |
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| 測(cè)量原理 | 入射式掃描干涉 | |||
尺寸 | ～φ40mm | ～φ150mm | ～φ300mm | |
*大測(cè)量高度 | 40mm | 60mm | 300mm | |
測(cè)量波長 | 830nm AlGaAs半導(dǎo)體激光器 | |||
測(cè)量數(shù)據(jù)數(shù) | *大約78萬點(diǎn) | *大約400萬點(diǎn) | ||
測(cè)量分辨率 | 0.01μm | |||
測(cè)量精度(Accuracy) | 平面度 | 0.060μm | ||
| 平行度 | 0.100μm | |||
深度 | 0.250μm | |||
重復(fù)精度(Repeatability) | 平面度 | 0.02μm | ||
| 平行度 | 0.025μm | |||
| 深度 | 0.100μm | |||
測(cè)量時(shí)間 | 從樣品設(shè)置到分析約60秒 | |||
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