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MXGH1200-PECVD 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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河南泰洪升儀器設(shè)備有限公司 經(jīng)銷(xiāo)批發(fā)的反應(yīng)釜、其他消費(fèi)者市場(chǎng),在消費(fèi)者當(dāng)中享有較高的地位,公司與多家零售商和代理商建立了*穩(wěn)定的合作關(guān)系。河南泰洪升儀器設(shè)備有限公司經(jīng)銷(xiāo)的反應(yīng)釜、其他品種齊全、價(jià)格合理。河南泰洪升儀器設(shè)備有限公司實(shí)力雄厚,重信用、守合同、保證產(chǎn)品質(zhì)量,以多品種經(jīng)營(yíng)特色和薄利多銷(xiāo)的原則,贏得了廣大客戶(hù)的信任。

單/雙 層玻璃反應(yīng)器.旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器 .循環(huán)水真空泵

等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)等此款設(shè)備配有Plasma實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置,可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡(jiǎn)單實(shí)用,工藝重復(fù)性好,對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。

等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)主要功能和特點(diǎn):

 

1、利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相;

2、提高了氣相反應(yīng)的沉積速率、成膜質(zhì)量;

3、可通過(guò)調(diào)整射頻電源頻率來(lái)控制沉積速率;

4、能廣泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長(zhǎng)。

技術(shù)參數(shù)

滑軌管式爐技術(shù)參數(shù)

 

 

 

 

石英管尺寸

L1400mm  Φ(60、80、100)

 

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

 

測(cè)溫元件

K型熱電偶

 

加熱區(qū)長(zhǎng)度

410mm  

 

恒溫區(qū)長(zhǎng)度

200mm

 

工作溫度

≤1100℃

 

控溫模式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

 

控溫精度

±1℃

 

升溫速率

≤20℃/min

 

電功率

AC220V/50HZ/3KW

質(zhì)量供氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

 

 

 

 

 

外形尺寸

600x600x600mm

 

標(biāo)準(zhǔn)量程

50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar、N2);

 

壓力表測(cè)量范圍

-0.1Mpa~0.15Mpa

 

極限壓力

3MPa

 

針閥

316不銹鋼

 

截止閥

Φ6mm 316不銹鋼針閥

 

電功率

AC220V/50HZ/20W

 

響應(yīng)時(shí)間

氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec

 

準(zhǔn)確度

±1.5%

 

線性

±0.5~1.5%

 

重復(fù)精度

±0.2%

 

接口

Φ6,1/4''

真空系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

 

 

 

 

 

外型尺寸

600×600×600mm

 

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

 

功率

400W

 

抽氣速率

4L\s

 

極限真空

4X10-2Pa

 

實(shí)驗(yàn)真空度

1.0X10-1Pa

 

容油量

1.1L

 

進(jìn)氣口口徑

KF25

 

排氣口口徑

KF25

 

轉(zhuǎn)速

1450rpm

射頻電源

 

信號(hào)頻率

13.56 MHz±0.005%

 

功率輸出范圍

3W-300W   5W-500W可選

 

zui大反射功率

200W

 

射頻輸出接口

50 Ω, N-type, female

 

功率穩(wěn)定度

±0.1%

 

諧波分量

≤-50dbc

 

供電電壓

單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ

 

整機(jī)效率

>=70%

 

功率因素

>=90%

 

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷



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