產品名稱:
NanoScan High Precision Beam Profiler —高分辨率激光光束質量分析儀
產品介紹：
Photon公司的采用狹縫掃描技術的NanoScan光束質量分析儀，在保持BeamScan易用性和靈活性的基礎上提高了產品的主要性能，對紫外到遠紅外光譜范圍內的連續(xù)光和脈沖光均可進行測試，探測功率可達千瓦級．
NanoScan光束分析儀基于PCI結構的數(shù)字控制器可以提供12比特的數(shù)字信號，可以提供高達35dB的光學動態(tài)范圍。它把光束測量的精度和穩(wěn)定性提高了幾個數(shù)量級，現(xiàn)在光束尺寸和光束瞄準的測量誤差達幾百個納米已成為可能。
NanoScan的掃描速度軟件可控，采用峰值關聯(lián)算法可對連續(xù)光和Khz以上的脈沖光束進行測量，軟件可對1-16個光束進行亞微米精度的分析準，而且具有ActiveX自動控制功能，便于把NanoScan OEM到其它系統(tǒng)中。
NanoScan系統(tǒng)有硅、鍺以及熱釋電探測器可供選擇，光譜響應范圍從紫外到100µm以上的遠紅外。其中，NanoScan光束質量分析儀的硅和鍺探測器系統(tǒng)標配200mW的功率計功能，測量精度1.5%。