產(chǎn)品介紹：
         BeamScanXYPREC光束分析儀適用于測(cè)量極小光束—— 類似幾微米直徑大小的光束的儀器。
        在如此狹小的范圍內(nèi)，控制測(cè)量平面位置精度的能力就變得十分重要了。因?yàn)楣馐苌錁O限的景深只是一個(gè)概略的數(shù)字 。舉例來說，光束直徑的平方6um光束，得到的景深只有36um 。因此，如果不能精確控制測(cè)量平面，就不可能準(zhǔn)確的測(cè)量到光腰，就會(huì)導(dǎo)致測(cè)量失誤。Photon對(duì)zui合適的路徑進(jìn)行了綜合測(cè)試，用來提高測(cè)量平面位置的精度。同時(shí)為了達(dá)到zui大的精確度，儀器的誤差已經(jīng)被減少到了zui小。測(cè)試的zui終結(jié)果是：探頭的測(cè)量平面可以被控制到zui?。?.8um或7um）。然后儀器又經(jīng)過了坐標(biāo)測(cè)量?jī)x（CMM）的測(cè)試檢驗(yàn) 。其中CMM的精度為2.5um。因此，可測(cè)平面數(shù)據(jù)為±5μm或者可選為±3μm
        通過對(duì)許多材料的試驗(yàn)， 我們發(fā)現(xiàn)由于不銹鋼有非?？煽康臋C(jī)械穩(wěn)定性，是進(jìn)行加工的材料。因此，我們對(duì)BeamScan進(jìn)行了*次改進(jìn)，每個(gè)BeamScan高精度探頭的成分中都加入了經(jīng)過精密加工的ASTM303不銹鋼 。不銹鋼掃描頭的出現(xiàn)優(yōu)化了生產(chǎn)過程，縮短了生產(chǎn)上產(chǎn)生的誤差。
光波范圍:
         XYPREC：400nm - 1000nm
         XYGEPREC：700nm - 1800nm
可測(cè)光束尺寸:
         4μm-[aperture]
         Depending on slit size and power