ZPT-F-Y科研氣浮隔振光學(xué)平臺

ZPT-F-Y科研氣浮隔振光學(xué)平臺

應(yīng)用領(lǐng)域：

適合于高倍數(shù)電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領(lǐng)域應(yīng)用

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■中航世紀(jì)隔振公司研發(fā)制造的具有負(fù)載能力強(qiáng)、剛性強(qiáng)、穩(wěn)定性高、隔振效果好的科研級氣浮隔振光學(xué)平臺。

■優(yōu)異的隔振性能：內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng)，具備優(yōu)秀的固有頻率，對多個(gè)方向的振動(dòng)特別是垂直方向有著良好衰減效果，避免外界振動(dòng)干擾設(shè)備儀器精度，提高儀器設(shè)備使用精度和使用效率。
■自動(dòng)調(diào)節(jié)水平功能：放置負(fù)載的位置發(fā)生變化，平臺迅速通過高精度閥門自動(dòng)調(diào)整空氣彈簧內(nèi)部的氣壓，自動(dòng)保持水平。氣動(dòng)元器件全部執(zhí)行德國FESTO產(chǎn)品，標(biāo)配進(jìn)口無油壓縮機(jī)。

■臺板采用蜂窩芯夾板結(jié)構(gòu),具有重量輕、高剛度、高阻尼等優(yōu)點(diǎn)，上面板為1cr17優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼，經(jīng)精密研磨處理，平面度高，回旋打磨工藝清除毛邊，達(dá)到無反射、亞光效果，面板具有M6螺孔陣列，易于固定光學(xué)元件。
■隔振支撐為優(yōu)質(zhì)鋼管焊接而成，整體堅(jiān)固穩(wěn)定。
■工作壓力為0.35～0.6Mpa，標(biāo)準(zhǔn)配置調(diào)壓過濾閥將保證空氣彈簧的*有效工作，用戶只需要將氣管連接進(jìn)氣口，就能使裝置正常發(fā)揮隔振功能，氣源可通過小型空氣壓縮機(jī)或氮?dú)馄抗┙o，便于在安靜場合使用。

技術(shù)指標(biāo)：

■平面度：< 0.05mm/m2
■表面粗糙度：< 0.8μm
■固有頻率；x方向：1.0Hz～1.5Hz  y方向：1.0Hz～1.5Hz

■減振效率：x方向＜5Hz時(shí)：88%～94%    y方向＜5Hz時(shí)：86%～92%

                x方向＜10Hz時(shí)：92%～98%  y方向＜10Hz時(shí)：90%～95%

■振幅：< 1μm
■荷載能力：800kg/m2

■重復(fù)定位精度：±0.05mm

產(chǎn)品型號：（接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)） 

臺面細(xì)節(jié)圖

精密研磨處理

表面平整精度

內(nèi)部蜂窩結(jié)構(gòu)

應(yīng)用案例

裝備地點(diǎn)：香港理工大學(xué)生物醫(yī)學(xué)工程跨領(lǐng)域?qū)W部       產(chǎn)品規(guī)格：3000*1500*800mm