低溫和高溫真空探針臺(tái)

SEMISHARE真空環(huán)境高低溫測(cè)試技術(shù)

以下兩個(gè)應(yīng)用需要真空測(cè)試環(huán)境。

極低溫測(cè)試:

因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。

高溫?zé)o氧化測(cè)試：

當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。 

晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，SEMISHARE針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。

SCG-C-4(閉循環(huán))/SCG-O-4(開循環(huán))特點(diǎn)：

載物Chuck 溫度范圍：4K-500K        

外置4個(gè)定位針臂，預(yù)留2個(gè)

探針X-Y-Z三方向移動(dòng)，行程：25.4mm，定位精度：10微米

zui多可以外置6個(gè)定位針臂

載物chuck zui大可到8英寸

雙屏蔽chuck高低溫時(shí)達(dá)到100FA 的測(cè)試精度

針臂定位精度可以升級(jí)為0.7微米

可以選擇射頻配件做zui高67 GHz的射頻測(cè)試

可以選擇防震桌

可以選擇超高真空腔體,極限真空到10-10 torr

客戶訂制

溫控規(guī)格:  

機(jī)械規(guī)格                               

光學(xué)部件規(guī)格

可選附件

防震桌

方形chuck

分子泵組

射頻部件

Chuck可外部移動(dòng)裝置

客戶定制。