型號

SHCV-6-Auto

SHCV-8-Auto

SHCV-12-Auto

外形

860mm*850mm*700mm

880mm*860mm*750mm

 1300mm*920mm*920mm

重量

180KG

250KG

380KG

電力需求

AC220V,50~60HZ

Chuck

尺寸

6inch

8inch

12inch

X-Y軸行程

6*6inch

8*8inch

12*12inch

X-Y軸移動解析度

0.04um/0.1um

X-Y軸重復(fù)定位精度

±1um

移動速度

≥ 50 mm/sec

Z軸行程

10mm

Z軸移動解析度

0.1um

Z軸重復(fù)定位精度

±1um

Theta角度行程

±15°

Theta角度解析度

0.0003°

光柵尺

帶光柵尺

樣品固定方式

多孔真空吸附，獨(dú)立分區(qū)控制

切換樣品功能

樣品臺快速拉出

結(jié)構(gòu)

同軸高壓設(shè)計(jì)，鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，可作為背電極使用

針座平臺

規(guī)格

O型平臺，zui多可放置8個(gè)針座

O型平臺，zui多可放置10個(gè)針座

O型平臺，zui多可放置12個(gè)針座

行程&調(diào)節(jié)方式

平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um

控制方式

手動控制盒(可選擇帶操縱桿)

軟件控制

軟件功能

wafer map的編輯

儀器的接入

數(shù)據(jù)的采集和圖像化顯示

數(shù)據(jù)的分析

差異數(shù)據(jù)的標(biāo)定Ink mark

自定義Bin分

自動測試

通訊接口：RS232/EtherCAT/GPIB等

大功率規(guī)格

配置

大功率kelvin樣品臺

大功率夾具線纜

mult-pin 分流探針

大功率保護(hù)模塊(針座用)

保護(hù)紅外光幕，防止人員誤進(jìn)入工作區(qū)，觸發(fā)時(shí)interlock互鎖

大功率儀器連接模塊

zui大測試電壓

10KV

zui大測試電流

500A(脈沖)

光學(xué)特性

顯微鏡行程

2*2inch

顯微鏡行程

1um

放大倍數(shù)

20-4000X

CCD像素

50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)

點(diǎn)針規(guī)格

點(diǎn)針精度

10微米/2微米/0.7微米

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

漏電精度 

10pA/100fA

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口

溫控特性

溫度范圍

﹣100~200℃

﹣80~200℃

﹣60~200℃

溫控精度

溫度分辨率 ： 0.01°C

加熱電源

LVDC 低壓直流

zui低控溫速率   

±0.1°C  /小時(shí) 

傳感器

Pt100

制冷方式

液氮制冷

減震

主動式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動

可選附件

chuck快速拉出裝置

顯微鏡傾仰裝置

激光修復(fù)

探針卡夾具

光強(qiáng)/波長測試接口部件

加熱臺

高低溫樣品臺(-80~200℃)

防震桌

射頻測試

PCB板夾具

液晶熱點(diǎn)偵測套裝

屏蔽箱

卡盤鍍金

運(yùn)用方向

晶圓自動測試，功率器件自動測試