VEGA 3 ——綜合性能zui強大的鎢燈絲掃描電鏡

VEGA是一款可使用高真空和低真空的鎢燈絲掃描電子顯微鏡。VEGA系列從zui開始設(shè)計就優(yōu)先考慮到了樣品分析的復(fù)雜性，以及需要達(dá)到高質(zhì)量的圖像成像能力。圓錐形物鏡，多款的樣品室設(shè)計，高精度、全自動優(yōu)中心樣品臺或半自動樣品臺，多種探測器和輔助配件可供選擇，都使得VEGA3掃描電鏡成為強大的多功能分析工具。 更高的亮度和較長的燈絲壽命 穩(wěn)定的電子發(fā)射源（與場發(fā)射電子源相比），在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流（與鎢燈絲電子源相比）,因此有更高的亮度和較長的燈絲壽命，同時有更高的分辨率。六硼化鑭具有較高的束流和更小的光斑尺寸，它是大束流和高分辨應(yīng)用的理想選擇。 *的四透鏡大視野光路設(shè)計 無需任何機械合軸部件即可完成*自動化的鏡筒設(shè)置和校準(zhǔn) 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉(zhuǎn)換器" 透鏡與線圈的優(yōu)質(zhì)材料使成像率達(dá)到20ns/像素，并減少了動態(tài)扭曲效應(yīng) 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束 分析優(yōu)勢 除SB樣品室配備三軸電動的樣品臺以外，其他所有的VEGA電鏡樣品室（LM,XM,GM）都配備五軸電動的電腦優(yōu)中心樣品臺，并為EDS和EBSD的安裝提供理想的幾何設(shè)計。 多于20個接口，優(yōu)化的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD） *的YAG閃爍器式探頭 可選各種探頭和配件 渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達(dá)到儀器操作需要的真空狀態(tài) 在可變真空模式下可觀測不導(dǎo)電的樣品（XMU型號） 可選樣品室減振方式 三維Metrology軟件提供了三維重構(gòu)與三維測量功能 自動導(dǎo)航與自動化分析 自動操作進(jìn)行燈絲加熱和電子槍對中 通過腳本語言（Python）用戶也可以自定義軟件的自動操作。 用戶界面友好的軟件 多語言版本，模塊化軟件體系結(jié)構(gòu)、通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實現(xiàn)遠(yuǎn)程診斷