靶材材質(zhì) | 金、銀、鉑 | 靶材尺寸 | φ50mm |
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 1-5萬 |
濺射氣體 | 空氣、氬氣 | 控制方式 | 半自動(dòng) |
樣品倉(cāng)尺寸 | 160mm×120mm(D×H)mm | 樣品臺(tái)尺寸 | φ50mm |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,石油,能源,航天,綜合 | 計(jì)時(shí)器 | 0-999S |
速率 | 0-10nm/min | 真空度 | 1PA |
用途 | 用于掃描電子顯微鏡中的噴金 | 電流 | 0-50ma |
SD-900 型離子濺射儀噴金儀鍍膜儀樣品制備外觀亮麗做工精致,旋鈕式定時(shí)器檔位清晰,手感舒適;特殊定制的真空指示和電流指示表頭沉穩(wěn)大氣,具有歐洲典雅風(fēng)范;前面板上的微泄漏氣閥門可以連接多種氣體;調(diào)節(jié)濺射電流大小,成膜速度快,質(zhì)量好;功能控制和定時(shí)皆由CPU調(diào)度,使用范圍廣。
SD-900型離子濺射儀噴金儀鍍膜儀樣品制備工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需的電離氣體,獲得好的鍍膜效果。
配有高位定性的飛躍真空泵
“SD-900,The utility model has comfortable hand feeling, strong practicability, easy implement, novel construction, simple structure.
The micro leakage valve on the front panel can connect various gases; The sputtering current is regulated, the film speed is fast and the quality is good.;
Functional control and timing are all scheduled by CPU, with a wide range of applications.
It is easy to control the vacuum chamber pressure, ionization current and choose the required ionization gas when working in conjunction with the internal automatic control circuit, so as to achieve the best coating effect.
High qualitative jump vacuum pump
參數(shù)
2 主機(jī)規(guī)格:300mm×360mm×380mm(W×D×H)
2 靶(上部電極):50mm×0.1mm(D×H)
2 靶材:Au(標(biāo)配)
2 樣品室:玻璃腔體160mm×120mm(D×H)
2 靶材尺寸:Ф50mm
2 真空度:1 PA
2 電流:0-50mA
2 定時(shí)器:數(shù)碼計(jì)時(shí)0-999S
2 微型真空氣閥:可連接φ3mm軟管
2 可通入氣體: 多種
2 電壓: 0 -1600 DCV
2 機(jī)械泵:標(biāo)準(zhǔn)配置2L/S(國(guó)產(chǎn)VRD-8)
速率:0--10nm/min
用途:
1、適用于電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡(SEM)觀察前對(duì)樣品的噴金、噴鉑。
2、非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作(噴金、噴鉑。噴銀等)
3、其他可以滿足條件的鍍膜實(shí)驗(yàn)。
特點(diǎn):
特點(diǎn):
1、簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)、可靠、外觀精美。
2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大小,顆粒大小約4-20nm。
3、SETPLASMA手動(dòng)啟動(dòng)按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對(duì)膜造成不必要的損傷。
4、真空保護(hù)可避免真空過低造成設(shè)備短路。
5、同時(shí)可以通過更換不同的靶材(金、鉑、銥、銀、銅等),以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。
6、通過通入不同的惰性氣體以達(dá)到更純凈的涂層。
需要鍍膜的樣品
電子束敏感的樣品 | 非導(dǎo)電的樣品 | 新材料 |
主要包括生物樣品, 塑料樣品等。S EM 中的電子束具有較高能量, 在與樣品的相互作用 過程中,它以熱 的形式將部分能量 傳遞給樣品。如果 樣品是對(duì)電子束敏感 的材料,那這種相 互作用會(huì)破壞部分 甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。 這種情況下,用一種 非電子束敏感材料 制備的表面鍍層就 可以起到保護(hù)層 的作用,防止此類損傷; | 由于樣品不導(dǎo)電, 其表面帶有“電子陷阱”, 這種表面上的電子 積累被稱為“充電”。 為了消除荷電效應(yīng), 可在樣品表面鍍一層 金屬導(dǎo)電層,鍍層作為 一個(gè)導(dǎo)電通道, 將充電電子從材 料表面轉(zhuǎn)移走, 消除荷電效應(yīng)。 在掃描電鏡成像時(shí), 濺射材料增加 信噪比,從而獲 得更好的成像質(zhì)量。 | 非導(dǎo)電材料實(shí)驗(yàn)電極 制作觀察導(dǎo)電特性 |