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CPS-XXX-CF 低溫探針臺(tái)

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First-Nano System GmbH 

  • 2003年          創(chuàng)立于德國德累斯頓工業(yè)大學(xué)(Dresden University of Technology)

  • 2008年          香港成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司   

  • 2015年          上海成立德國韋氏納米系統(tǒng)(香港)有限公司中國代表處,負(fù)責(zé)中國區(qū)業(yè)務(wù)

  • 2018年          深圳正式成立韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司,更好的為中國南方區(qū)市場(chǎng)

     

德國韋氏納米系統(tǒng)成立以來,一直為客戶想的更多,Thinking more ?。?!

 

產(chǎn)品范圍:

薄膜沉積/Thin Film Deposition 
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma Cleaner, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma Cleaner
- Wet: Megasonic, 杜邦EKC清洗液
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems

等離子清洗機(jī),均膠機(jī),薄膜沉積,刻蝕

低溫探針臺(tái) CPS-xxx-CF系列是一款成本低、穩(wěn)定、可靠和方便的低溫半導(dǎo)體測(cè)試甚至低溫晶圓級(jí)別測(cè)試器件的低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。

 

內(nèi)置振動(dòng)隔離,智能熱管理和工程熱膨脹補(bǔ)償使低溫探針臺(tái)系統(tǒng)非常適合于寬范圍從納米電子學(xué)應(yīng)用(石墨烯的研究,分子電子學(xué),量子計(jì)算等)以空間為基礎(chǔ)的電子測(cè)試。

 

規(guī)格:

  • 試樣尺寸:25、50mm、100mm、150mm或200mm可選;

  • 無冷閉式循環(huán)制冷機(jī)(S):包括冷頭、壓縮機(jī)、制冷機(jī)和所需的氦氣軟管;           

  • 溫度范圍:標(biāo)準(zhǔn)10K~400K,4.2K到480k可供選擇  ;      

  • 溫度精度:0.1k或更好   ;       

  • 熱探針臂和輻射屏蔽;           

  • 卡盤和探針臂的溫度監(jiān)測(cè);

  • 輻射屏蔽和cryohead溫度監(jiān)測(cè)是可選的;            

  • 真空壓力   ;

  • 窗口材料:熔融石英,定制的材料和涂料是可用的;             

  • 相機(jī):數(shù)碼相機(jī)從1像素到10像素。圖像和視頻采集軟件以及尺寸測(cè)量能力;

 

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