化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)測量儀>其它光學(xué)測量儀>BW-M7000 尼康1pm高分辨率光干涉CNC顯微鏡BW-M7000
BW-M7000 尼康1pm高分辨率光干涉CNC顯微鏡BW-M7000
- 公司名稱 北京新卓儀器有限公司
- 品牌 Nikon/日本尼康
- 型號 BW-M7000
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2018/12/19 15:32:56
- 訪問次數(shù) 292
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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表面性狀測定采用尼康自主開發(fā)的方式——“FVWLI(Focus Variation with White Light Interferometry)法”。該方法可使對象材料的表面生成干涉紋,高精度決定各像素的焦點(diǎn)位置。通過使用這種方式,可在2.5倍(視野4.4×4.4mm)至100倍(視野111.0×110.0μm)的所有倍率下實(shí)現(xiàn)三維算數(shù)平均高度(Sa)為0.1nm級別的表面性狀評估。能夠以單一模式測定超平滑表面到粗糙表面,無需更換光學(xué)濾光片等部件。另外,在測定膜厚時使用光譜干涉法。能以不到0.1秒的時間測定厚度為1nm~40μm的透明薄膜的厚度。
可通過程序控制手段實(shí)現(xiàn)全自動測定,能夠自動實(shí)施對焦、調(diào)整樣品的傾斜、判斷是否合格等操作??勺詣訙y定多個視野,除了材料研發(fā)一線之外,還可輕松用于品質(zhì)管理及*現(xiàn)場。
該顯微鏡配備最大行程為300×300mm的電動XY軸載物臺,以及最大行程為200mm的電動Z軸變焦載物臺??蓽y定半導(dǎo)體、LED、薄膜材料、高分子材料、精密機(jī)械加工部件等多種樣品(圖2、圖3)。在測定鉆頭*的表面形狀時,可用夾具保持其直立固定狀態(tài)。