3D共聚焦顯微鏡采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。     

     一個(gè)特殊改裝的固定工作臺(tái)可以承載大體積高重量的測試物體，結(jié)合一個(gè)可以自由移動(dòng)的滾輪式工作臺(tái)，μsurf mobile移動(dòng)式3D測量系統(tǒng)可以輕易的傳輸并且設(shè)置在任意一個(gè)地方進(jìn)行使用。μsurf mobile特別為大體積樣品的測量而開發(fā)。例如，軋輥和車身。由于其便攜性，它非常適用于工廠的在線檢查。μsurf mobile移動(dòng)式3D測量系統(tǒng)只需幾分鐘準(zhǔn)備便可進(jìn)行測量，并且可以方便地架設(shè)在測試對(duì)象上--因?yàn)樗闹亓恐挥?公斤。根據(jù)不同測量要求可以編輯不同的應(yīng)用方案。配有鼻輪和專業(yè)解決方案軟件的μsurf mobile移動(dòng)式3D測量系統(tǒng)可滿足了各種各樣的測量任務(wù)。

應(yīng)用

3D共聚焦顯微鏡用來測量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf mobile主要對(duì)大型樣品進(jìn)行測試，在以下幾個(gè)行業(yè)中被眾多企業(yè)廣泛使用：

汽車行業(yè)

印刷和造紙行業(yè)

鋼鐵行業(yè)

技術(shù)參數(shù)

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測量時(shí)間：5~10秒

測量原理：非接觸、共聚焦、可移動(dòng)，可以檢測大型的物體

X/Y方向移動(dòng)范圍：50mmX50mm，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，X/Y方向分辨率：0.3μm

Z方向移動(dòng)范圍：35mm

Z方向測量范圍：250μm，Z方向分辨率：< 10nm

物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)

計(jì)算機(jī)：高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，功能強(qiáng)大且全面的軟件，有拼接功能

工作電源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用電池做電源）

材質(zhì)：鋼鐵、橡膠、大理石

外型尺寸：380*110*115mm

重量：5.5KG（不含防震拉桿箱）

潔凈室等級(jí): Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)