產(chǎn)品的特點(diǎn)：                         

•  三維表面測(cè)量系統(tǒng)NPFLEX靈活測(cè)量大尺寸、特殊角度的樣品 
•  三維表面測(cè)量系統(tǒng)NPFLEX高效的三維表面信息測(cè)量 
•  垂直方向亞納米分辨率提供更多的細(xì)節(jié)
• 快速獲取測(cè)量數(shù)據(jù)，測(cè)試過程迅速高效
• 高效的三維表面信息測(cè)量
• 每次測(cè)量均可獲得完整表面信息，并可用于多種分析目的
• 更容易獲得更多的測(cè)量數(shù)據(jù)來幫助分析
• 垂直方向亞納米分辨率提供更多的細(xì)節(jié)
• 干涉技術(shù)實(shí)現(xiàn)每一個(gè)測(cè)量象素點(diǎn)上的亞納米級(jí)別垂直分辨率
• 工業(yè)界使用多年業(yè)已驗(yàn)證的干涉技術(shù)提供具有統(tǒng)計(jì)意義的數(shù)據(jù)，為日漸苛刻的加工工藝提供保障
• 測(cè)量數(shù)據(jù)的快速獲取保證了測(cè)試準(zhǔn)備時(shí)間
• 樣品準(zhǔn)備時(shí)間和測(cè)量準(zhǔn)備時(shí)間
• 比接觸法測(cè)量(一條線)更大的視場(chǎng)(一個(gè)面)獲得表面更多的數(shù)據(jù)