巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器

實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明，通過采用鐵鈷柵陣式磁敏薄膜的SAW磁場(chǎng)傳感器，成功抑制了鐵鈷材料中的磁滯效應(yīng)，其磁滯誤差僅為鐵鈷薄膜式傳感器的五分之一，而且，傳感器的靈敏度、線性度也得到了大幅改善，如圖2所示。該項(xiàng)研究為高性能磁場(chǎng)檢測(cè)提供了一個(gè)有效途徑。

　　* 強(qiáng)磁滯效應(yīng)：鐵磁材料磁化狀態(tài)的變化總是落后于外加磁場(chǎng)的變化，在外磁場(chǎng)撤消后，材料仍能保持原有的部分磁性。

　　* 磁致伸縮效應(yīng)：鐵磁材料在外部磁場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，材料的尺寸和體積會(huì)發(fā)生變化。

　　* ΔE效應(yīng)：鐵磁材料在外部磁場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，自身的楊氏彈性模量（E）也會(huì)發(fā)生變化。

巴魯夫成型外殼內(nèi)的磁致伸縮位移傳感器

在當(dāng)今的信息社會(huì)中，磁場(chǎng)傳感器已成為信息技術(shù)和信息產(chǎn)業(yè)中*的基礎(chǔ)元件。

目前，人們已研制出利用各種物理、化學(xué)和生物效應(yīng)的磁場(chǎng)傳感器，并已在科研、生產(chǎn)和社會(huì)生活的各個(gè)方面得到廣泛應(yīng)用，承擔(dān)起探究種種信息的任務(wù)。但是多數(shù)的磁場(chǎng)傳感技術(shù)在靈敏度及磁滯誤差等方面仍存在問題，阻礙了其實(shí)質(zhì)應(yīng)用。

將柵陣式鐵鈷（FeCo）磁致伸縮薄膜高磁敏、低磁滯性與聲表面波的快速響應(yīng)特點(diǎn)相結(jié)合，有可能實(shí)現(xiàn)一種快速、高靈敏、低遲滯誤差、穩(wěn)定可靠的新型磁場(chǎng)檢測(cè)方法來檢測(cè)磁場(chǎng)。

中科院聲學(xué)所超聲技術(shù)中心的王文研究員、賈雅娜博士等人研究發(fā)現(xiàn)，對(duì)鐵鈷磁致伸縮薄膜進(jìn)行柵陣式設(shè)計(jì)，可以獲得一種新型的快速、靈敏度高的磁場(chǎng)檢測(cè)方法，提高磁場(chǎng)傳感器的線性度、*性和穩(wěn)定性，減小遲滯誤差，由此改善磁場(chǎng)傳感器的性能。相關(guān)成果已發(fā)表于期刊 AIP advances [1]。