in-line磁控濺射系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2019/5/23 17:50:04
- 訪問次數(shù) 308
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|
設(shè)備用途
in-line磁控濺射系統(tǒng)用于在晶體硅表面沉積金屬薄膜（Al、Ag、Ni、Cu、Ti、Pd等），并能夠?qū)崿F(xiàn)反應(yīng)濺射，磁控濺射系統(tǒng)可完成高、低真空下磁控濺射鍍膜工藝，磁控濺射系統(tǒng)具備較大尺寸和多種尺寸規(guī)格的晶體硅光伏電池薄膜的連續(xù)制備能力。
設(shè)備組成
in-line磁控濺射系統(tǒng)主要由進(jìn)樣室、濺射室、出樣室、基片傳遞機(jī)構(gòu)、抽氣及真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、安裝機(jī)臺等部分組成。此外,該系統(tǒng)升級后，磁控濺射系統(tǒng)可達(dá)到5室結(jié)構(gòu)(進(jìn)樣室、三個獨立的濺射室、出樣室；增加射頻電源，提供制備介質(zhì)膜的功能，并能實現(xiàn)連續(xù)鍍膜)。
采購中心
化工儀器網(wǎng)