臥/立式連續(xù)磁控濺射鍍AZO膜生產(chǎn)線共設計有七個真空腔體部分，*部分為進口室，第二部分為進口緩沖室，第三部分為進口傳送室，第四部分為工藝室，第五部分為出口傳送室，第六部分為出口緩沖室，第七部分為出口室；兩對采用PCU04閉路環(huán)控制的中頻孿生Si靶，形成高質(zhì)量的隔離SiO2層；十對圓柱AZO靶，實現(xiàn)高質(zhì)量的AZO透明導線膜；設備設計加工尺寸為寬1100mm，長1400mm的平面基板材料，生產(chǎn)加工周期可優(yōu)化到60－120秒；生產(chǎn)線采用分子泵抽氣形成氣氛隔離的*設計，生產(chǎn)線采用渦輪浮分子泵以獲得高效的隔離、穩(wěn)定的抽速和均勻的氣體分布。

       臥/立式連續(xù)磁控濺射鍍AZO膜生產(chǎn)線運用在薄膜太陽能電池上，透明導電膜用為減反射層和透明電極使用，可以提高太陽能的轉(zhuǎn)化效率，用AZO薄膜代替ITO薄膜，不僅可以降低生產(chǎn)成本，而且無毒環(huán)保，膜層性能更加穩(wěn)定。