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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>掃描電鏡(SEM)>mini-SEM 桌上型掃描電鏡

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mini-SEM 桌上型掃描電鏡

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京亞科晨旭科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 mini-SEM
  • 產(chǎn)地 捷克
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/9/25 12:38:21
  • 訪問次數(shù) 2944

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公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領域的設備集成和技術服務;目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術團隊,專業(yè)服務于混合電路、光電模塊、MEMS、先進封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術方案。
目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供先進的設備和專業(yè)的技術服務打下了堅實基礎。

 

半導體設備,微組裝設備,LTCC設備,化工檢測設備

背散射電子圖像分辨率 5nm 產(chǎn)地類別 國產(chǎn)
二次電子圖象分辨率 10nmnm 放大倍數(shù) 60000x
加速電壓 30kV 價格區(qū)間 50萬-100萬
儀器種類 場發(fā)射 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池

桌上型掃描電鏡(mini-SEM)產(chǎn)品介紹:

SEC公司研發(fā)生產(chǎn)的桌上掃描電鏡(Mini-SEM)實現(xiàn)了大電鏡的小型化處理,結(jié)構(gòu)緊湊操作便捷,Mini-SEM以其人性化實用性設計及實惠的價格,成為了廣泛應用于以研究開發(fā)和品質(zhì)管理教育等為目的的企事業(yè)單位,政府機關,學校,研究所等機構(gòu)的經(jīng)濟普及型掃描電鏡。

Mini-SEM用戶界面

掃描電子顯微鏡是用極細的電子束在樣品表面掃描(高速電子轟擊樣品),將產(chǎn)生的各種電子用特制的探測器收集,形成電信號運送到顯像管,在熒光屏上顯示物體,或者將激發(fā)出來的特征X光通過能譜儀或者波譜儀進行定量的成分分析的一種分析儀器。

掃描電鏡分辨率與電子在試樣上的小掃描范圍有關,電子束斑越小,電子在試樣上的分辨率越高。在保證束斑足夠小的情況下,電子束還要有足夠的強度。束流太低不能從試樣表面激發(fā)足夠的信號,噪聲影響大。

二次電子對形貌敏感。凸起部位亮,凹陷部位暗,景深好,細節(jié)清晰。

背散射電子對原子序數(shù)敏感,原子序數(shù)高的區(qū)域能得到更多的背散射電子,相應圖像較亮,可以用來觀察材料成分的分部。

X光:原子被激發(fā)會發(fā)出X光,每種元素受激發(fā)射發(fā)出的X光會不同,通過對不同X光進行檢測,就可知道材料中包括什么元素和比例。

背散射探測器受真空度影響不大,可以適用于高真空和低真空模式。

二次電子探頭受真空影響較大,分辨率大大降低。在低真空模式下需要特定的探頭。

桌上型掃描電鏡應用:

  • 半導體

薄膜結(jié)構(gòu)及缺陷、材料成分分析、集成電路失效分析、光刻版圖形貌、太陽能電池、顯示面板及半導體封裝焊接等。

  • 金屬材料

細微晶體離子形態(tài)和結(jié)構(gòu)

  • 化學材料-燃料電池

不同型號性能對比:

分辨率

20nm / (BSE, 30kV)

15nm / (SE, 30kV)

20nm / (BSE, 30kV)

5nm (SE, 30kV)  


放大率

30x ~ 30,000x

(有效: 15,000x)

30 x ~60,000x

(有效: 30,000x)

30 x ~ 100,000 x

(有效  : 60,000 x)

加速電壓

5kV to 30kV (5/10/15/20/30 - 5step)

探測器

背散射電子探測器

二次電子和背散射電子雙重探測器

二次電子探測器,背散射可選

 



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