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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設備>化學機械拋光機(CMP)>CP-6 化學機械拋光機

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CP-6 化學機械拋光機

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 北京中精儀科技有限公司
  • 品牌 RTEC
  • 型號 CP-6
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時間 2024/11/28 15:29:41
  • 訪問次數(shù) 8438

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北京中精儀科技有限公司是一家致力于提供先進的科研生產(chǎn)測試儀器及相關技術咨詢服務的科技企業(yè), 公司由來自美國的相關領域資深專家成立, 公司總部設在美國加州硅谷地區(qū)。

公司多年來秉承著“精益求精”的經(jīng)營理念,為中國高等院校、科研機構(gòu)、生產(chǎn)企業(yè)配備了大量先進的專業(yè)儀器。提供了高水平、專業(yè)化的技術產(chǎn)品及高質(zhì)量的售后服務。

公司銷售的產(chǎn)品涉及到:

(1)材料力學試驗機:摩擦磨損試驗機,耐磨試驗機,真空試驗機,電化學腐蝕試驗機,疲勞試驗機,彎曲扭轉(zhuǎn)試驗機,微納劃痕儀、壓痕儀,高溫微米壓痕儀等。

 

(2)材料表面分析 :三維形貌儀,白光干涉儀,激光共聚焦顯微鏡,原子力顯微鏡等。

(3)半導體設備/CMP :原子層沉積系統(tǒng)(ALD),MBE分子束外延系統(tǒng),激光脈沖沉積(PLD),物理氣相沉積系統(tǒng)(PVD),化學機械拋光設備(CMP)等。

(4)生化儀器:激光拉曼光譜儀等

(5)扭矩測試:多功能扭矩測試儀,電機扭矩測試儀,軸承扭矩測試儀等。

多功能摩擦磨損試驗機,形貌儀,輪廓儀,摩擦儀,

  概述:
  RTEC化學機械拋光機CP-6采用專業(yè)的方式研究和表征CMP工藝。 除了拋光晶圓和基板外,測試儀還配有在線表面輪廓儀。這種組合提供了有關表面、摩擦、磨損等變化的原因和方式的信息。測試儀還可以測量幾個內(nèi)聯(lián)參數(shù),如摩擦力、表面粗糙度、磨損量等,以便詳細了解過程。

化學機械拋光機

  特點:
  1.集成的共聚焦3D顯微鏡,可以用nm分辨率表征拋光墊表面;
  2.內(nèi)聯(lián)摩擦、聲發(fā)射研究拋光過程;
  3.內(nèi)聯(lián)溫度傳感器;
  4.可安裝多種晶圓尺寸;
  5.可控制的下壓力和速度。
  標準配置有X,Y平臺,可在拋光和成像位置之間移動壓板。此外,XY平臺有助于在拋光過程中振蕩晶圓。使用帶有XY驅(qū)動器的壓板允許多軸驅(qū)動組合來創(chuàng)建自定義運動,以模擬接近現(xiàn)實生產(chǎn)環(huán)境的測試條件。
  內(nèi)聯(lián)傳感器:
  1.扭矩 - 高分辨率內(nèi)聯(lián)扭矩傳感器可實現(xiàn)端點定位,并實時表征表面;
  2.聲學 - 聲音信號,允許定性終點或幫助檢測拋光過程中的碎片、缺陷;
  3.溫度 - 焊盤和靠近晶圓拋光表面的區(qū)域的在線溫度監(jiān)控有助于研究去除機制。
  可編程負載、速度:
  為了優(yōu)化過程,CP-6允許使用基于配方的軟件控制和改變力、速度、流速。
  易于使用:
  摩擦測量儀配有快換載體,可輕松安裝晶圓和焊盤。該軟件帶有預定義的測試標準配方,或者可以輕松創(chuàng)建新的自定義配方。
  集成在線3D輪廓儀:

化學機械拋光機


  Rtec化學機械拋光機配有內(nèi)聯(lián)集成的3D輪廓儀。經(jīng)過優(yōu)化,可以表征具有nm分辨率的拋光墊表面。探測器配有共焦模式+干涉儀模式+暗場和明場模式。 這允許以nm分辨率研究表面變化與時間的關系。該測試儀允許在大表面積上自縫合,以進行體積磨損,粗糙度計算。

化學機械拋光機




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